[发明专利]一种氧化铈的制备方法及其在STI抛光领域的应用有效
| 申请号： | 201510999590.8 | 申请日： | 2015-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN106915760B | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 尹先升;贾长征 | 申请（专利权）人： | 安集微电子科技（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | C01F17/235 | 分类号： | C01F17/235;C01F17/10;C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京大成律师事务所 11352 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新区华东路*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化铈的制备方法及其在STI抛光领域的应用，其中，所述的制备方法包括：首先对前驱体碳酸铈进行球磨分散，然后对所得碳酸铈前驱体进行水热晶化预处理，进一步高温焙烧所制备的晶态碳酸铈，得到氧化铈粉体。将该氧化铈粉体经机械力分散于液相，以该分散的氧化铈为磨料制备CMP抛光液，其在STI抛光应用中显示出优良的平坦化抛光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 制备 方法 及其 sti 抛光 领域 应用 | ||
【主权项】：
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