[发明专利]一种氧化铈的制备方法及其在STI抛光领域的应用有效
| 申请号： | 201510999590.8 | 申请日： | 2015-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN106915760B | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 尹先升;贾长征 | 申请（专利权）人： | 安集微电子科技（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | C01F17/235 | 分类号： | C01F17/235;C01F17/10;C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京大成律师事务所 11352 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新区华东路*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 制备 方法 及其 sti 抛光 领域 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种氧化铈的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：
第一步，将碳酸铈配置为固含量为10wt％-50wt％的碳酸铈水分散浆料，可添加浓度为0.1wt％-1wt％的分散剂，球磨处理，至碳酸铈颗粒平均粒径达到0.3-1.5um时停止球磨处理，得到碳酸铈前驱体，其中，所述碳酸铈水分散浆料的pH为7.0-9.0；
第二步，水热晶化所述碳酸铈前驱体，得到晶态碳酸铈；
第三步，高温焙烧所述晶态碳酸铈，得到氧化铈，其中，所述高温焙烧的温度为500-900℃，所述高温焙烧时间为1.0-10.0小时。
2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述水热晶化的温度为50℃-120℃，所述水热晶化的时间为1-24小时。
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