[发明专利]一种高耐热光刻胶组合物及其使用工艺

摘要

本发明公开了一种含有临羟基苯甲醛线性酚醛树脂作为成膜树脂的光刻胶组合物，以重量百分数计，由如下组分组成，重氮类感光剂2-40％、含有临羟基苯甲醛单体的酚醛树脂8-50％、表面活性剂0-2％、黏附促进剂0-10％和溶剂40-90％。其中，所使用的含有临羟基苯甲醛的酚醛树脂为甲酚、3，5-二甲基酚与临羟基苯甲醛的共聚物。同时还提出了上述光刻胶用于光刻过程的工艺。本发明所述含有临羟基苯甲醛线性酚醛树脂作为成膜树脂的光刻胶组和物适用于电子器件生产等领域。

主权项

一种含有临羟基苯甲醛线性酚醛树脂的正性光刻胶，以重量百分数计，由如下组分组成，重氮类感光剂                2‑40％含有临羟基苯甲醛的酚醛树脂  8‑50％表面活性剂                  0‑2％黏附促进剂                  0‑10％溶剂                        40‑90％；所述重氮类感光剂为通式(1)和(2)化合物中的一种或几种的混合物，上述通式(1)和(2)中，A为硫原子或氧原子，R₁、R₂、R₃和R₄中至多有一个为氢原子，R₆、R₇和R₈中至多有一个为氢原子，R₅为碳原子数1‑5的烷基，其余为(I)或(II)结构；