[发明专利]一种石墨舟承载装置及互联式石墨舟装卸片生产线

摘要

本发明公开了一种石墨舟承载装置及互联式石墨舟装卸片生产线，此石墨舟承载装置包括承载托板、分设于承载托板两端部的轴向限位块和轴向锁紧部，所述承载托板沿石墨舟长度方向水平布置，所述轴向锁紧部可远离或靠近轴向限位块，所述承载托板上于轴向限位块和轴向锁紧部之间间隔固设若干支撑条，每一根支撑条均沿石墨舟宽度方向布置且两端向外伸出，各支撑条的两伸出端上分设限位挡块。本发明具有能极大提高生产效率、降低人员劳动强度等优点。

主权项

1.一种石墨舟承载装置，其特征在于：包括承载托板（1）、分设于承载托板（1）两端部的轴向限位块（4）和轴向锁紧部（5），所述承载托板（1）沿石墨舟长度方向水平布置，所述轴向锁紧部（5）可远离或靠近轴向限位块（4），所述承载托板（1）上于轴向限位块（4）和轴向锁紧部（5）之间间隔固设若干支撑条（2），每一根支撑条（2）均沿石墨舟宽度方向布置且两端向外伸出，各支撑条（2）的两伸出端上分设限位挡块（3）；所述石墨舟承载装置（30）通过至少一个传动装置（40）于PECVD设备（10）、石墨舟装卸片系统（20）之间作自动往复运动以实现硅片转运；所述传动装置（40）包括工作台面（41）和分设于工作台面（41）两侧的传送带（42），所述工作台面（41）上沿石墨舟长度方向设置至少两个可伸缩的凸块（43），所述承载托板（1）的底部设有与凸块（43）配合的凹块（7），所述石墨舟承载装置（30）在凸块（43）伸长并与凹块（7）配合时脱离传送带（42）。