[发明专利]一种石墨舟承载装置及互联式石墨舟装卸片生产线

权利要求书

1.一种石墨舟承载装置，其特征在于：包括承载托板（1）、分设于承载托板（1）两端部的轴向限位块（4）和轴向锁紧部（5），所述承载托板（1）沿石墨舟长度方向水平布置，所述轴向锁紧部（5）可远离或靠近轴向限位块（4），所述承载托板（1）上于轴向限位块（4）和轴向锁紧部（5）之间间隔固设若干支撑条（2），每一根支撑条（2）均沿石墨舟宽度方向布置且两端向外伸出，各支撑条（2）的两伸出端上分设限位挡块（3）；所述石墨舟承载装置（30）通过至少一个传动装置（40）于PECVD设备（10）、石墨舟装卸片系统（20）之间作自动往复运动以实现硅片转运；所述传动装置（40）包括工作台面（41）和分设于工作台面（41）两侧的传送带（42），所述工作台面（41）上沿石墨舟长度方向设置至少两个可伸缩的凸块（43），所述承载托板（1）的底部设有与凸块（43）配合的凹块（7），所述石墨舟承载装置（30）在凸块（43）伸长并与凹块（7）配合时脱离传送带（42）。

2.根据权利要求1所述的石墨舟承载装置，其特征在于：所述轴向锁紧部（5）包括推杆（51）和驱动推杆（51）远离或靠近轴向限位块（4）的驱动件（52）。

3.根据权利要求1或2所述的石墨舟承载装置，其特征在于：所述承载托板（1）上还固设若干与检测传感器配合用于监控石墨舟片槽内是否有硅片碎裂或掉落的传感器反光板（6），各传感器反光板（6）与石墨舟片槽对应，并沿石墨舟长度方向水平间隔固设于承载托板（1）上。

4.根据权利要求3所述的石墨舟承载装置，其特征在于：所述传感器反光板（6）与支撑条（2）平行、等距间隔排布，且均与承载托板（1）垂直。

5.一种互联式石墨舟装卸片生产线，其特征在于：包括PECVD设备（10）、石墨舟装卸片系统（20）以及权利要求1至4中任意一项所述的石墨舟承载装置（30），所述石墨舟承载装置（30）通过至少一个传动装置（40）于PECVD设备（10）、石墨舟装卸片系统（20）之间作自动往复运动以实现硅片转运；所述传动装置（40）包括工作台面（41）和分设于工作台面（41）两侧的传送带（42），所述工作台面（41）上沿石墨舟长度方向设置至少两个可伸缩的凸块（43），所述承载托板（1）的底部设有与凸块（43）配合的凹块（7），所述石墨舟承载装置（30）在凸块（43）伸长并与凹块（7）配合时脱离传送带（42）。

6.根据权利要求5所述的互联式石墨舟装卸片生产线，其特征在于：所述工作台面（41）的端部设有限位传感器（44），所述石墨舟承载装置（30）上与限位传感器（44）邻接处安装缓冲块（8）。

7.根据权利要求6所述的互联式石墨舟装卸片生产线，其特征在于：所述凸块（43）通过驱动油缸（45）相对于工作台面（41）伸出或缩回，所述驱动油缸（45）与限位传感器（44）联动。

8.根据权利要求5至7中任意一项所述的互联式石墨舟装卸片生产线，其特征在于：所述承载托板（1）的两端分别安装一用于石墨舟定位导向的n形导向块（9），所述n形导向块（9）n形顶部的转角处开设锥形的倒角（90）。