[发明专利]一种LTCC基板组件及其共晶烧结工艺方法有效

专利信息
申请号: 201510919650.0 申请日: 2015-12-11
公开(公告)号: CN106876267B 公开(公告)日: 2019-12-17
发明(设计)人: 张群力;宋云乾;刘侨 申请(专利权)人: 中国航空工业集团公司雷华电子技术研究所
主分类号: H01L21/324 分类号: H01L21/324;H01L23/15
代理公司: 11008 中国航空专利中心 代理人: 陆峰
地址: 214063 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种LTCC基板组件及其共晶烧结工艺方法,LTCC基板组件包括LTCC基板(2)、0.08mm厚预成型银锡焊片(3)、毛纽扣安装孔(即CNA8高温保护阻焊胶涂覆位置)(4)、LTCC基板结构件(5),LTCC基板组件放入至弹性定位工装(1)中构成产品件。本发明适合多尺寸的专用弹力工装,可将基板空洞率由80%以下提高到90%以上;设计毛纽扣安装孔的保护工艺,实现对不同连接器安装孔的焊接过程的精确保护,不会对后续连接器进行安装产生影响。同时采用银锡焊片作为焊接材料,可实现焊料量的高精度控制,提高产品的一致性。
搜索关键词: 一种 ltcc 组件 及其 烧结 工艺 方法
【主权项】:
1.一种LTCC基板组件的共晶烧结工艺方法,其特征在于:所述LTCC基板组件包括LTCC基板结构件(5)、预成型银锡焊料片(3)和LTCC基板(2),其中LTCC基板结构件(5)含有多个连接器的安装孔(4),LTCC基板(2)含有多个芯片安装槽,LTCC基板(2)、预成型银锡焊料片(3)共同装配至LTCC基板结构件(5)中,具体实施过程如下:/n步骤1:根据需要共晶烧结的LTCC基板结构件(5)的结构图纸,加工出可对不同厚度共晶烧结产品提供固定压力、高精度定位,同时可以良好传热的弹性定位工装(1),弹性定位工装(1)需在LTCC基板结构件(5)上连接器的安装孔(4)位置预留高温保护阻焊胶涂覆位置;/n步骤2:按LTCC基板结构件(5)相同的尺寸加工出厚度与弹性定位工装(1)压力匹配的预成型银锡焊料片(3);/n步骤3:将步骤1所述的弹性定位工装(1)进行超声清洗留作备用;/n步骤4:清洗LTCC基板结构件(5)、预成型银锡焊料片(3)及LTCC基板(2);/n步骤5:依次将LTCC基板组件中LTCC基板结构件(5)、预成型银锡焊料片(3)和LTCC基板(2)放入弹性定位工装(1)中,构成产品件;/n步骤6:通过弹性定位工装(1)底部的预留位置,对LTCC基板结构件(5)上连接器的安装孔涂覆耐高温保护阻焊胶;/n步骤7:将步骤6所述的产品件放入烘箱中,进行100℃±5℃、30分钟左右烘干处理;/n步骤8:将步骤7所述的产品件放入共晶烧结炉中,确保弹性定位工装(1)底部与共晶炉内部加热板充分接触;/n步骤9:设置共晶烧结工艺曲线,实现步骤8所述产品件在一定焊接温度、真空度和工艺气体条件下的真空烧结;/n步骤10:共晶烧结程序运行完毕后,待产品件温度降至60℃以下后,取出已完成共晶烧结的产品件。/n
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