[发明专利]通过物理气相沉积制备连续丝材表面涂层的设备和方法在审

专利信息
申请号: 201510887999.0 申请日: 2015-12-07
公开(公告)号: CN105316646A 公开(公告)日: 2016-02-10
发明(设计)人: 马江宁;姜春竹;周国栋;雷新更;高巍;武洪臣;崔向中;马国佳 申请(专利权)人: 中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/24
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 朱坤鹏
地址: 100024 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种通过物理气相沉积制备连续丝材表面涂层的设备和方法,所述设备包括蒸气供应源(3)、绕丝机构和两个具有一定间距的转向引导单元(2),该绕丝机构能够牵引纤维(1)连续进给,蒸气供应源(3)能够向该两个转向引导单元(2)之间供给能够在纤维(1)的表面形成涂层的气体。通过“连续进给+多次往返+绕轴旋转”的多自由度的运动机构来实现连续丝材的连续给进沉积,在物理气相沉积过程中,可以提高连续丝材表面涂层的厚度均匀性,实现长丝材的连续给进沉积,填补了对用EB-PVD技术制备连续纤维增强钛基复合材料的研究的空白。
搜索关键词: 通过 物理 沉积 制备 连续 表面 涂层 设备 方法
【主权项】:
一种通过物理气相沉积制备连续丝材表面涂层的设备,其特征在于,所述通过物理气相沉积制备连续丝材表面涂层的设备包括蒸气供应源(3)、绕丝机构和两个具有一定间距的转向引导单元(2),该绕丝机构能够牵引纤维(1)连续进给,转向引导单元(2)能够在纤维(1)经过该转向引导单元(2)时使纤维(1)转向和定位,蒸气供应源(3)能够向该两个转向引导单元(2)之间供给能够在纤维(1)的表面形成涂层的气体。
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