[发明专利]一种太阳能锗片包装用晶圆盒的清洗方法有效
| 申请号： | 201510828457.6 | 申请日： | 2015-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN105499228B | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 谢辉;魏海龙;张海华;邱明军;李志诚 | 申请（专利权）人： | 中锗科技有限公司;南京中锗科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B9/08 | 分类号： | B08B9/08;C11D1/00;C11D3/02;C11D3/16;C11D3/43;C11D3/60 |
| 代理公司： | 南京先科专利代理事务所(普通合伙)32285 | 代理人： | 缪友菊 |
| 地址： | 211299 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种太阳能锗片包装用晶圆盒的清洗方法，包括如下步骤(1)整理使用过的废旧晶圆盒，将其中未破损的整理成套；(2)将整理好的待清洗的废旧晶圆盒放入冰醋酸和去离子水组成的混合溶液中，进行酸洗；(3)将步骤(2)处理后的晶圆盒放入化蜡剂和去离子水组成的混合溶液中清洗，混合溶液温度为60～70℃；(4)在常温状态下进行酒精置换；(5)晾干清洗完成的晶圆盒。采用本发明的清洗方法清洗后的废旧晶圆盒，表面洁净度接近新盒，可以再次使用，不会影响太阳能锗片的质量，大幅度的降低了产品的生产成本；本发明所采用的材料冰醋酸、化蜡剂、去离子水和酒精均为低成本的常用化学用品，进一步降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能 包装 用晶圆盒 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种太阳能锗片包装用晶圆盒的清洗方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)整理使用过的废旧晶圆盒，将其中未破损的整理成套，备用，每套待清洗的废旧晶圆盒包括盒身和盒盖；(2)将整理好的待清洗的废旧晶圆盒放入冰醋酸和去离子水组成的混合溶液中，进行酸洗，酸洗完成后，使用去离子水进行水置换；(3)将步骤(2)处理后的晶圆盒放入化蜡剂和去离子水组成的混合溶液中清洗，混合溶液温度为60～70℃，清洗后再次使用去离子水进行水置换；(4)步骤(3)中的水置换完成后，再在常温状态下进行酒精置换，酒精浓度为99.7％；(5)晾干清洗完成的晶圆盒，选出合格的晶圆盒产品。
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