[发明专利]一种太阳能锗片包装用晶圆盒的清洗方法

说明书

技术领域

本发明涉及太阳能锗片加工领域，具体涉及一种太阳能锗片包装用晶圆盒的清洗方法。

背景技术

由于包装太阳能锗片的晶圆盒与太阳能锗片表面直接接触，其洁净度会直接影响锗片表面质量，为了保证锗片的质量，一般情况下，晶圆盒只能一次性使用，以确保其洁净。生产过程中，库存或周转需使用较大数量的晶圆盒，经过很长时间的积压后，如果不能再清洗利用，就会进行报废处理，大批量的废旧晶圆盒被报废处理，虽然清理腾出了仓库及车间空间，但是经济损失是直接的，不仅是废旧晶圆盒的经济损失，采购新晶圆盒同样也需要付出一笔资金，无形中增加了产品的成本。然而目前市场上还未看到太阳能锗片包装用晶圆盒的清洗方法，而传统的清洗方法又难以保证晶圆盒的洁净度。

发明内容

发明目的：本发明目的在于针对现有技术的不足，提供一种晶圆盒的清洗方法，以满足太阳能锗片的包装需求，减少新盒的采购，间接降低产品成本。

技术方案：本发明所述太阳能锗片包装用晶圆盒的清洗方法，包括如下步骤：

(1)整理使用过的废旧晶圆盒，将其中未破损的整理成套，备用，每套待清洗的废旧晶圆盒包括盒身和盒盖；

(2)将整理好的待清洗的废旧晶圆盒放入冰醋酸和去离子水组成的混合溶液中，进行酸洗，酸洗完成后，使用去离子水进行水置换；

(3)将步骤(2)处理后的晶圆盒放入化蜡剂和去离子水组成的混合溶液中清洗，混合溶液温度为60～70℃，清洗后再次使用去离子水进行水置换；

(4)步骤(3)中的水置换完成后，再在常温状态下进行酒精置换，酒精浓度为99.7％；

(5)晾干清洗完成的晶圆盒，选出合格的晶圆盒产品。

本发明进一步优选地技术方案为，每次清洗的废旧晶圆盒至少为200套。

优选地，步骤(2)中用于酸洗的混合溶液内冰醋酸和去离子水的体积比为1：10，其中去离子水至少为5L。

优选地，步骤(3)中混合溶液内化蜡剂和去离子水的体积比为1：50，其中去离子水至少为5L。

优选地，步骤(2)或(3)中用于水置换的去离子水至少为20L，每清洗50套晶圆盒更换去离子水。

优选地，步骤(4)中用于酒精置换的酒精至少为5L，每清洗至少400套晶圆盒更换酒精。

优选地，步骤(3)中所述化蜡剂包括有机溶剂5％～10％，有机碱2％～5％，表面活性剂5％～10％，无机盐5％～20％，余量为去离子水。

有益效果：(1)采用本发明的清洗方法清洗后的废旧晶圆盒，表面洁净度接近新盒，可以再次使用，不会影响太阳能锗片的质量，大幅度的降低了产品的生产成本；本发明所采用的材料冰醋酸、化蜡剂、去离子水和酒精均为低成本的常用化学用品，进一步降低了生产成本；

(2)本发明采用弱酸的稀释冰醋酸和弱碱的化蜡剂溶液清洗晶圆盒，腐蚀性弱，清洗人员在低刺激性气味的环境中作业，比较安全；而且整个清洗过程操作简便，工作量小，清洗人员劳动强度低；

(3)本发明中清洗完毕后的晶圆盒可以作为周转盒使用，不仅减少了车间的堆积，还提高了抛光片的洁净度和合格率，避免二次返工抛光，减少药液和机器的使用量。

具体实施方式

下面通过对本发明技术方案进行详细说明，但是本发明的保护范围不局限于所述实施例。

实施例1：一种太阳能锗片包装用晶圆盒的清洗方法，以清洗1000套晶圆盒为例，包括如下步骤：

(1)整理使用过的废旧晶圆盒，将其中未破损的整理成套，备用，每套待清洗的废旧晶圆盒包括盒身和盒盖；

(2)将200套整理好的待清洗的废旧晶圆盒放入体积比为1：10的冰醋酸和去离子水的混合溶液中，进行酸洗，其中去离子水为5L，酸洗完成后，使用20L的去离子水进行水置换，每清洗50套晶圆盒更换一次去离子水；

(3)将步骤(2)处理后的晶圆盒放入体积比为1：50的化蜡剂和去离子水的混合溶液中清洗，其中化蜡剂包括有机溶剂5％～10％，有机碱2％～5％，表面活性剂5％～10％，无机盐5％～20％，余量为去离子水，为了保证化蜡剂的化学活性，混合溶液温度为60～70℃；去离子水为5L，使用20L的去离子水进行水置换，每清洗50套晶圆盒更换一次去离子水；

(4)步骤(3)中的水置换完成后，再在常温状态下使用5L的酒精进行酒精置换，酒精浓度为99.7％；

(5)晾干清洗完成的晶圆盒，选出合格的晶圆盒产品；