[发明专利]一种太阳能锗片包装用晶圆盒的清洗方法有效
| 申请号： | 201510828457.6 | 申请日： | 2015-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN105499228B | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 谢辉;魏海龙;张海华;邱明军;李志诚 | 申请（专利权）人： | 中锗科技有限公司;南京中锗科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B9/08 | 分类号： | B08B9/08;C11D1/00;C11D3/02;C11D3/16;C11D3/43;C11D3/60 |
| 代理公司： | 南京先科专利代理事务所(普通合伙)32285 | 代理人： | 缪友菊 |
| 地址： | 211299 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能 包装 用晶圆盒 清洗 方法 | ||
1.一种太阳能锗片包装用晶圆盒的清洗方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)整理使用过的废旧晶圆盒，将其中未破损的整理成套，备用，每套待清洗的废旧晶圆盒包括盒身和盒盖；
(2)将整理好的待清洗的废旧晶圆盒放入冰醋酸和去离子水组成的混合溶液中，进行酸洗，酸洗完成后，使用去离子水进行水置换；
(3)将步骤(2)处理后的晶圆盒放入化蜡剂和去离子水组成的混合溶液中清洗，混合溶液温度为60～70℃，清洗后再次使用去离子水进行水置换；
(4)步骤(3)中的水置换完成后，再在常温状态下进行酒精置换，酒精浓度为99.7％；
(5)晾干清洗完成的晶圆盒，选出合格的晶圆盒产品。
2.根据权利要求1所述的太阳能锗片包装用晶圆盒的清洗方法，其特征在于，每次清洗的废旧晶圆盒至少为200套。
3.根据权利要求2所述的太阳能锗片包装用晶圆盒的清洗方法，其特征在于，步骤(2)中用于酸洗的混合溶液内冰醋酸和去离子水的体积比为1：10，其中去离子水至少为5L。
4.根据权利要求3所述的太阳能锗片包装用晶圆盒的清洗方法，其特征在于，步骤(3)中混合溶液内化蜡剂和去离子水的体积比为1：50，其中去离子水至少为5L。
5.根据权利要求2～4任意一项所述的太阳能锗片包装用晶圆盒的清洗方法，其特征在于，步骤(4)中用于酒精置换的酒精至少为5L，每清洗至少400套晶圆盒更换酒精。
6.根据权利要求1所述的太阳能锗片包装用晶圆盒的清洗方法，其特征在于，步骤(3)中所述化蜡剂包括有机溶剂5％～10％，有机碱2％～5％，表面活性剂5％～10％，无机盐5％～20％，余量为去离子水。
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