[发明专利]切断机构、接合机构及切断接合装置有效
| 申请号： | 201510795438.8 | 申请日： | 2013-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN105479737B | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 鬼头义昭;铃木智也;堀正和 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | B29C65/74 | 分类号： | B29C65/74;B29C65/50;B29C65/78;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;孙明轩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种切断机构，具有：切断部，其将进行了规定处理的长条状的基板切断；和缓冲部，其使所述基板的储存量能够根据实施了所述规定处理的所述基板的长边方向上的搬送量而改变，且调整朝向所述切断部搬送的所述基板的搬送量。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 切断机构 基板切断 接合机构 接合装置 长条状 储存量 缓冲部 长边 | ||
【主权项】：
1.一种切断机构，其特征在于，为了将利用第1处理单元实施处理后的长条状的基板依次输送至与所述第1处理单元相比处理速度更慢的多个第2处理单元的每一个并实施后处理，所述切断机构具有：切断部，其以在所述基板被所述第1处理单元仅对规定长度实施了处理之后切断所述基板的方式设置在所述第1处理单元之后；和缓冲部，其设置在所述第1处理单元与所述切断部之间，使所述基板的储存量能够根据被所述第1处理单元实施处理的所述基板的长边方向上的搬送量而改变，且调整朝向所述切断部搬送的所述基板的搬送量。
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