[发明专利]切断机构、接合机构及切断接合装置有效
申请号: | 201510795438.8 | 申请日: | 2013-04-09 |
公开(公告)号: | CN105479737B | 公开(公告)日: | 2018-11-02 |
发明(设计)人: | 鬼头义昭;铃木智也;堀正和 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | B29C65/74 | 分类号: | B29C65/74;B29C65/50;B29C65/78;G02F1/13 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 陈伟;孙明轩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基板 切断机构 基板切断 接合机构 接合装置 长条状 储存量 缓冲部 长边 | ||
1.一种切断机构,其特征在于,
为了将利用第1处理单元实施处理后的长条状的基板依次输送至与所述第1处理单元相比处理速度更慢的多个第2处理单元的每一个并实施后处理,所述切断机构具有:
切断部,其以在所述基板被所述第1处理单元仅对规定长度实施了处理之后切断所述基板的方式设置在所述第1处理单元之后;和
缓冲部,其设置在所述第1处理单元与所述切断部之间,使所述基板的储存量能够根据被所述第1处理单元实施处理的所述基板的长边方向上的搬送量而改变,且调整朝向所述切断部搬送的所述基板的搬送量。
2.根据权利要求1所述的切断机构,其特征在于,还具有使所述切断部的动作与所述缓冲部中的所述基板的储存量连动的连动控制部。
3.一种接合机构,其特征在于,
为了将利用多个第1处理单元的每一个实施处理后的长条状的基板依次输送至与所述第1处理单元相比处理速度更快的第2处理单元并实施后处理,所述接合机构具有:接合部,其以将被多个所述第1处理单元的任一个实施处理后的规定长度的所述基板的前端部与被第2处理单元实施处理的所述基板的终端部接合的方式设置在所述第2处理单元之前;和
缓冲部,其设置在所述第2处理单元与所述接合部之间,使所述基板的长边方向上的储存量能够根据被所述第2处理单元实施处理的所述基板的搬送量而改变,且调整从所述接合部投入至所述第2处理单元的所述基板的搬送量。
4.一种切断接合装置,配置于边将长条的片状基板从上游侧处理单元向下游侧处理单元沿长边方向搬送边对其实施规定处理的生产线中,将所述片状基板切断,或者将其他的片状基板与所述片状基板接合,所述切断接合装置的特征在于,具有:
缓冲机构,其配置在所述上游侧处理单元与所述下游侧处理单元之间,储存所搬送的所述片状基板并能够使其长边方向上的长度在规定的最长储存范围内变化;切断接合机构,其沿所述片状基板的搬送方向并列地设有在所述长边方向上切断所述片状基板的切断部、和将其他的片状基板与所述片状基板的所述长边方向上的端部接合的接合部,该切断结合机构能够设置于所述缓冲机构的所述片状基板的搬入侧、和所述缓冲机构的所述片状基板的搬出侧的某一方;和
控制部,其在与所述上游侧处理单元的处理速度相比所述下游侧处理单元的处理速度更慢的情况下,在所述上游侧处理单元的下游侧设置所述缓冲机构的搬入侧,并且在所述缓冲机构的搬出侧设置所述切断接合机构,所述控制部以如下的方式进行控制:在所述片状基板被所述上游侧处理单元仅对规定长度实施了处理之后,利用所述切断部切断所述片状基板,
在与所述上游侧处理单元的处理速度相比所述下游侧处理单元的处理速度更快的情况下,在所述下游侧处理单元的上游侧设置所述缓冲机构的搬出侧,并且在所述缓冲机构的搬入侧设置所述切断接合机构,所述控制部以如下的方式进行控制:利用所述接合部将被所述上游侧处理单元实施处理后的规定长度的所述片状基板的前端部与被所述下游侧处理单元实施处理的所述片状基板的终端部接合。
5.根据权利要求4所述的切断接合装置,其特征在于,
所述控制部使所述切断部中的切断动作时的所述片状基板的搬送停止或所述接合部中的接合动作时的所述片状基板的搬送停止,与所述缓冲机构中的所述片状基板的储存动作连动。
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