[发明专利]双向进出交替镀膜装置及方法有效

专利信息
申请号: 201510791028.6 申请日: 2015-11-17
公开(公告)号: CN105239051B 公开(公告)日: 2018-11-30
发明(设计)人: 朱文廓;朱刚劲;朱刚毅 申请(专利权)人: 广东腾胜真空技术工程有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/56
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人: 谢静娜;裘晖
地址: 526060 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开一种双向进出交替镀膜装置及方法,其装置是在镀膜室两端对称设置依次连接的缓冲室、进出料室和进出料架,位于镀膜室同一端的进出料架、进出料室和缓冲室独立完成同一个工件或同一组工件的进料和出料;镀膜室内设有双向传动的传动辊组,带动同一个工件或同一组工件在镀膜室内来回运动,进行多层镀膜。其方法是在镀膜室一端,工件依次进入进出料架、进出料室、缓冲室和镀膜室,在镀膜室内通过传动辊组带动工件来回运动进行多层镀膜;完成镀膜后,工件反向运动送出;同时,位于镀膜室另一端的工件由相应的进出料架开始进行输送;镀膜室两端的工件交替进入镀膜室,进行镀膜处理。本发明可满足磁性材料的厚膜要求,并可有效提高加工效率。
搜索关键词: 双向 进出 交替 镀膜 装置 方法
【主权项】:
1.双向进出交替镀膜装置,其特征在于,包括进出料架、进出料室、缓冲室和镀膜室,镀膜室两端对称设置依次连接的缓冲室、进出料室和进出料架,位于镀膜室同一端的进出料架、进出料室和缓冲室独立完成同一个工件或同一组工件的进料和出料;镀膜室内的下部设有双向传动的传动辊组,通过传动辊组带动同一个工件或同一组工件在镀膜室内来回运动,进行多层镀膜;所述镀膜室内的上部设有多套磁控溅射靶,磁控溅射靶的靶材为单块状的靶材或多块拼接状的双跑道式大口径旋转圆柱靶;所述传动辊组包括多个并排设置的传动辊,各传动辊分别包括传动辊套和传动辊轴,传动辊套设于传动辊轴外周,传动辊轴两端分别设置支撑座,传动辊轴一端通过传动轮外接驱动机构;双向进出交替镀膜装置所实现的方法包括以下步骤:(1)工件通过进出料架送入进出料室,先对进出料室进行抽真空处理,再对工件表面进行离子处理;(2)然后将工件依次送入缓冲室和镀膜室,通过传动辊组的带动,工件在镀膜室内来回运动,进行多层镀膜;(3)完成镀膜后,工件反向运动,依次送入缓冲室和进出料室;同时,位于镀膜室另一端的工件由相应的进出料架开始进行输送;(4)完成镀膜的工件进入进出料室时,在进出料室内进行快速冷却,然后送至进出料架,送出双向进出交替镀膜装置;(5)重复步骤(1)至(4),位于镀膜室两端的工件交替进入镀膜室,进行镀膜处理。
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