[发明专利]双向进出交替镀膜装置及方法

权利要求书

1.双向进出交替镀膜装置，其特征在于，包括进出料架、进出料室、缓冲室和镀膜室，镀膜室两端对称设置依次连接的缓冲室、进出料室和进出料架，位于镀膜室同一端的进出料架、进出料室和缓冲室独立完成同一个工件或同一组工件的进料和出料；镀膜室内的下部设有双向传动的传动辊组，通过传动辊组带动同一个工件或同一组工件在镀膜室内来回运动，进行多层镀膜；

所述镀膜室内的上部设有多套磁控溅射靶，磁控溅射靶的靶材为单块状的靶材或多块拼接状的双跑道式大口径旋转圆柱靶；

所述传动辊组包括多个并排设置的传动辊，各传动辊分别包括传动辊套和传动辊轴，传动辊套设于传动辊轴外周，传动辊轴两端分别设置支撑座，传动辊轴一端通过传动轮外接驱动机构；

双向进出交替镀膜装置所实现的方法包括以下步骤：

(1)工件通过进出料架送入进出料室，先对进出料室进行抽真空处理，再对工件表面进行离子处理；

(2)然后将工件依次送入缓冲室和镀膜室，通过传动辊组的带动，工件在镀膜室内来回运动，进行多层镀膜；

(3)完成镀膜后，工件反向运动，依次送入缓冲室和进出料室；同时，位于镀膜室另一端的工件由相应的进出料架开始进行输送；

(4)完成镀膜的工件进入进出料室时，在进出料室内进行快速冷却，然后送至进出料架，送出双向进出交替镀膜装置；

(5)重复步骤(1)至(4)，位于镀膜室两端的工件交替进入镀膜室，进行镀膜处理。

2.根据权利要求1所述的双向进出交替镀膜装置，其特征在于，所述传动辊轴两端还分别设有绝缘座，绝缘座位于支撑座与传动辊套的端面之间。

3.根据权利要求1所述的双向进出交替镀膜装置，其特征在于，所述传动辊的两端还分别设有屏蔽板，各屏蔽板分别设于支撑座上方。

4.根据权利要求1所述的双向进出交替镀膜装置，其特征在于，所述进出料架与进出料室之间设有真空锁，进出料室与缓冲室之间也设有真空锁，镀膜室与其两端的缓冲室连通形成相连的真空室。

5.根据权利要求4所述的双向进出交替镀膜装置，其特征在于，所述进出料室一侧设有抽真空机组，缓冲室或镀膜室一侧也设有抽真空机组，进出料室内设有离子处理组件。

6.根据权利要求5所述的双向进出交替镀膜装置，其特征在于，所述进出料室一侧还设有对流快速冷却方式的快速冷却装置，快速冷却装置包括相连接的压缩机和冷凝器，压缩机的出口端还与进出料室的一侧连接，冷凝器的出口端通过冷却管与进出料室的另一侧连接；

当进出料室处于进料状态时，开启抽真空机组对进出料室进行抽真空处理；当进出料室处于出料状态时，开启快速冷却装置对工件进行快速冷却处理。

7.根据权利要求1所述的双向进出交替镀膜装置，其特征在于，所述步骤(4)中，对完成镀膜的工件进行快速冷却时，采用惰性气体对流快速冷却的方式。