[发明专利]一类聚合物型硫鎓盐类光生酸剂、制备方法及其应用

摘要

本发明涉及一类聚合物型的硫鎓盐类光生酸剂、制备方法及其应用。光生酸剂为聚合物结构的硫鎓盐型光生酸剂化合物，侧链中含有硫鎓盐基团，该基团在光激发下可产生化学键的断裂，经系列反应产生强酸，进而引发相关反应。R1为甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯或苯乙烯等中的任一种，R2为甲基丙烯酸缩水甘油酯或烯丙基缩水甘油醚等中的任一种，R3是氢、甲基、乙基等不同碳原子个数的柔性链，R4为甲基、苄基或4‑氰基苄基等中的任一种，X－为反离子，为CF3SO3‑，BF4‑等中任一种；本发明适用于诸如313nm，365nm、385nm、405nm、425nm的近紫外区到可见光区成像的光刻胶光活性成分。此类光生酸剂在300nm～425nm区域内，此类光生酸剂光激发效率高，引发活性高。

主权项

一种聚合物型的硫鎓盐类光生酸剂，其特征在于所述光生酸剂结构式如下：其中，R1为甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸羟乙酯、苯乙烯、丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯或丙烯酸丁酯中的任一种，R2为甲基丙烯酸缩水甘油酯、烯丙基缩水甘油醚或4‑乙烯基环氧环己烷中的任一种，R3是氢、甲基、乙基、丙基、丁基、己基、辛基、壬基或十二烷基不同碳原子个数的柔性链，R4为甲基、苄基、五氟代苄基、4‑氰基苄基、4‑硝基苄基、4‑三氟甲基苄基或3，5‑二‑(三氟甲基)苄基中的任一种，X－为反离子，为BF4‑, PF6‑, SbF6‑或AsF6‑中任一种；n=1~3；b为0或大于0，a大于0，c大于0。