[发明专利]物品输送设备

摘要

提供一种防止物品从移载装置的滚落的同时能够顺畅地进行由移载装置进行的物品的移载的物品输送设备。在物品输送装置中具备沿着上下方向升降移动的升降体（14）、和被升降体（14）支承而在自己与移载对象部位之间移载物品（W）的移载装置（15）；在移载装置（15）中具备将物品（W）载置支承而向突出位置和回退位置进退移动的支承体（17）；将支承体（17）构成为，具备在上下方向上弹性变形自如的支承部件（9），由该支承部件（9）将物品（W）载置支承；将缓冲体（29）以相对于被支承部件（9）载置支承的物品（W）向上方离开设定距离的状态装备在升降体（14）上。

主权项

1.一种物品输送设备，具备物品输送装置，上述物品输送装置在沿上下方向排列的多个移载对象部位之间输送物品；这里，上述物品输送装置具备升降体和移载装置，上述升降体沿着上下方向升降移动，上述移载装置被上述升降体支承并在自己与上述移载对象部位之间移载物品；上述移载装置具备支承体和进退用驱动装置，上述支承体载置支承物品，上述进退用驱动装置使上述支承体向朝向上述移载对象部位突出的突出位置和朝向上述升降体回退的回退位置进退移动；该物品输送设备的特征在于，上述支承体具备在上下方向上弹性变形自如的支承部件，且构成为用该支承部件载置支承物品；在上下方向上弹性变形自如的缓冲体以相对于被上述支承部件载置支承的物品向上方离开设定距离的状态装备在上述升降体上；上述支承体具备基部部件，上述基部部件被上述进退用驱动装置进退移动；上述支承部件以从上述基部部件向上方突出的状态装备在上述支承体上，该支承部件具备卡合部和弹性部，上述卡合部从下方与在物品的下表面上形成为向上方凹入的形状的凹入部卡合，上述弹性部以在上下方向上伸缩自如的状态夹设在该卡合部与上述基部部件之间并将上述卡合部向上方施力；上述物品是收容半导体基板的FOUP；上述FOUP在其上端部具备凸缘部；在上述FOUP被上述回退位置的上述支承部件载置支承的状态下，上述缓冲体装备在下述位置：在沿着上下方向的上下方向观察时相对于上述凸缘部重叠的位置，且相对于上述凸缘部的上表面向上方离开上述设定距离的位置。