[发明专利]物品输送设备

权利要求书

1.一种物品输送设备，具备物品输送装置，上述物品输送装置在沿上下方向排列的多个移载对象部位之间输送物品；

这里，上述物品输送装置具备升降体和移载装置，上述升降体沿着上下方向升降移动，上述移载装置被上述升降体支承并在自己与上述移载对象部位之间移载物品；

上述移载装置具备支承体和进退用驱动装置，上述支承体载置支承物品，上述进退用驱动装置使上述支承体向朝向上述移载对象部位突出的突出位置和朝向上述升降体回退的回退位置进退移动；

该物品输送设备的特征在于，

上述支承体具备在上下方向上弹性变形自如的支承部件，且构成为用该支承部件载置支承物品；

在上下方向上弹性变形自如的缓冲体以相对于被上述支承部件载置支承的物品向上方离开设定距离的状态装备在上述升降体上；

上述支承体具备基部部件，上述基部部件被上述进退用驱动装置进退移动；

上述支承部件以从上述基部部件向上方突出的状态装备在上述支承体上，该支承部件具备卡合部和弹性部，上述卡合部从下方与在物品的下表面上形成为向上方凹入的形状的凹入部卡合，上述弹性部以在上下方向上伸缩自如的状态夹设在该卡合部与上述基部部件之间并将上述卡合部向上方施力；

上述物品是收容半导体基板的FOUP；

上述FOUP在其上端部具备凸缘部；

在上述FOUP被上述回退位置的上述支承部件载置支承的状态下，上述缓冲体装备在下述位置：在沿着上下方向的上下方向观察时相对于上述凸缘部重叠的位置，且相对于上述凸缘部的上表面向上方离开上述设定距离的位置。

2.如权利要求1所述的物品输送设备，其特征在于，

上述设定距离被设定为比插入长度短的长度，上述插入长度是在上述支承部件载置支承着物品的状态下与上述凹入部卡合的上述卡合部中的插入在上述凹入部中的部分的上下方向的长度。

3.如权利要求2所述的物品输送设备，其特征在于，

上述设定距离被设定为以下的长度：当上述物品为最轻的条件时被上述支承部件载置支承的上述物品的上端与上述缓冲体的下端离开，并且即使是上述物品为最重的条件时也比上述插入长度短的长度。

4.如权利要求1～3中任一项所述的物品输送设备，其特征在于，

上述缓冲体的下表面被形成为沿着物品的上表面的形状。

5.如权利要求4所述的物品输送设备，其特征在于，

物品的顶面被形成为平坦的面；

上述缓冲体被形成为板状，以沿着被上述支承体载置支承的物品的顶面的姿势装备在上述升降体上。