[发明专利]将工件放置到测量装置台上的方法有效
| 申请号： | 201510765162.9 | 申请日： | 2015-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN105588537B | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 平野宏太郎;渡边亮介;境久嘉 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B21/30 | 分类号： | G01B21/30;G01B21/00;G01B21/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王景刚 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种将工件放置在测量装置的方法，其中工件被放置在测量装置的台上。所述方法包括：使用能够将所述工件保持在所述台之上的保持器；使用能够提升和降低所述台的上表面的调整器；用所述保持器将所述工件保持在所述台之上；用调整器使所述台的上表面上升从而使所述台的上表面与所述工件的下表面相接触；以及所述工件的载荷由所述台承担之后，释放所述保持器对所述工件的保持。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 放置 测量 装置 台上 方法 | ||
【主权项】：
一种将工件放置在测量装置的方法，其中工件被放置在测量装置的台上，所述方法包括：使用能够将所述工件保持在所述台之上的保持器；使用能够提升和降低所述台的上表面的调整器；用所述保持器将所述工件保持在所述台之上；用调整器使所述台的上表面上升从而使所述台的上表面与所述工件的下表面相接触；以及所述工件的载荷由所述台承担之后，释放所述保持器对所述工件的保持。
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