[发明专利]将工件放置到测量装置台上的方法

权利要求书

1.一种将工件放置在测量装置上的方法，其中工件被放置在测量装置的台上，所述方法包括：

使用能够将所述工件保持在所述台之上的保持器；

使用能够提升和降低所述台的上表面的调整器；

用所述保持器将所述工件悬吊并且保持在所述台之上；

用调整器使所述台的上表面上升从而靠近所述工件，且用比靠近所述工件更低的速度使所述台的上表面与所述工件的下表面相接触；以及

所述工件的载荷由所述台承担之后，释放所述保持器对所述工件的保持。

2.根据权利要求1所述的将工件放置在测量装置上的方法，其中，所述工件的载荷被承担在所述台上的操作是这样的操作：在提升所述台以靠近所述工件并且用比靠近所述工件更低的速度使所述台与所述工件的下表面相接触之后，继续提升所述台并且使所述工件的载荷承担在所述台上。

3.根据权利要求1所述的将工件放置在测量装置上的方法，其中：

所述工件被所述保持器保持在所述台之上，所述台占据参考位置，

所述台的上表面被所述调整器从所述参考位置上升以靠近所述工件并且用比靠近所述工件更低的速度与所述工件的下表面相接触，

所述工件的载荷被所述台承担之后，保持器的保持释放，并且

所述台的上表面被所述调整器降低并且返回至所述参考位置。

4.根据权利要求3所述的将工件放置在测量装置上的方法，其中：

所述台的上表面被所述调整器降低至待命位置，所述待命位置低于所述参考位置，

所述工件被所述保持器保持在高于所述台且低于所述参考位置的一位置，

所述台的上表面被所述调整器从所述待命位置提升以靠近所述工件并且用比靠近所述工件更低的速度与所述工件的下表面相接触，

所述工件的载荷被所述台承担之后，所述保持器的保持接触，并且

所述台的上表面被所述调整器提升并且返回至所述参考位置，

所述工件的载荷被所述台承担之后，所述保持器的保持接触，并且

所述台的上表面被所述调整器提升并且返回至所述参考位置。

5.一种测量装置，包括

具有其上放置有工件的上表面的台，所述台安装在基部上；

配置为测量放置在所述上表面上的工件的测量器；

安装在所述上表面和所述基部之间的区域并且配置为相对于所述基部提升和降低所述上表面的调整器；以及

控制器，所述控制器配置为：

控制所述调整器，

提升所述上表面以所述工件被悬吊且保持在所述上表面之上的状态靠近所述工件，并且

用比靠近所述工件更低的速度使所述上表面与所述工件的下表面相接触，这之后所述工件的载荷被所述台承担。

6.根据权利要求5所述的测量装置，其中：

所述调整器包括：

设在所述台和所述基部之间的抗震台，所述抗震台包括：

布置在所述基部上的下表面构件

支撑所述台的上表面构件；以及

安装在所述下表面构件并且支撑所述上表面构件的气弹簧；

供给气体至所述气弹簧的气路；以及

配置成控制所述气路的气体供给的控制阀，并且

所述控制器配置成通过用所述控制阀控制至所述气弹簧的气体供给而控制所述调整器的操作。

7.根据权利要求6所述的测量装置，其中：

所述抗震台具有倾斜调整性能并且包括：

安装在所述上表面构件和下表面构件之间的数个气弹簧；以及

连接至每个所述气弹簧的调整阀，所述调整阀在所述气弹簧被压缩的时候添加来自所述气路的气体并且在所述气弹簧伸展的时候从所述气弹簧排出气体，

所述调整器包括：

所述抗震台；以及

配置为强制打开和关闭所述调整阀的阀开/关控制器，并且

所述控制器配置为通过用所述阀开/关控制器强制地打开和关闭所述调整阀而控制至所述气弹簧的气体供给。

8.根据权利要求5所述的测量装置，其中，所述调整器使提供给所述台并且配置成支撑所述上表面从而能够上升和下降的提升/降低机构。