[发明专利]将工件放置到测量装置台上的方法

说明书

提供一种将工件放置在测量装置的方法，其中工件被放置在测量装置的台上。所述方法包括：使用能够将所述工件保持在所述台之上的保持器；使用能够提升和降低所述台的上表面的调整器；用所述保持器将所述工件保持在所述台之上；用调整器使所述台的上表面上升从而使所述台的上表面与所述工件的下表面相接触；以及所述工件的载荷由所述台承担之后，释放所述保持器对所述工件的保持。

相关申请的交叉引用

本申请要求2014年11月10日提交的日本专利申请No.2014-227879的优先权，其全部公开在此通过引用明确地并入本文。

技术领域

本发明涉及将工件放置在测量装置的方法以及测量装置。

背景技术

各种测量装置用于测量产品的尺寸和形状。例如，坐标测量装置用于测量产品表面上各种点位置。表面特征测量装置(形状测量装置、轮廓测量装置或表面粗糙度测量装置)用来测量产品表面的精细形状、轮廓或粗糙度。粗糙度测量装置用来测量例如圆柱形产品的粗糙度。

在这些测量装置中，工件(待测物体)放置在台(平台)待测量。然后，在相对于台移动对应于每种测量的测量头时，进行工件各部分的测量。各种形式被用于台和测量头的相对位移。但是，在很多测量装置中，台被移动并且在位移机构中采用高精度导引机构或支承机构，确保测量装置的精确度。

例如，在粗糙度测量装置中，旋转台被使用，以旋转工件并且测量器圆周表面。为了实现高精度旋转，旋转台采用空气轴承(见日本实用新型公开No.H03-008969)。在旋转台的空气轴承中，几μm和数十μm(微米)之间的空气层形成在转子(旋转侧)和定子(固定侧)之间的间隙中，转子相对于定子通过空气层的刚性被悬浮支撑，实现非接触旋转。转子和定子每一个具有压力接收表面，其面对另一个的压力接收表面，其中具有空气层。每个压力接收表面的形状非常影响旋转精度，这是粗糙度测量装置的主要性能。因此，为了实现高旋转精度，在空气轴承中转子和定子的压力接收表面的最终表面工作需要亚微米级水平的几何精度。

近年来，测量装置中待测物体的尺寸已经变得非常大。例如，对于极大的工件，例如风力发电机转子和水力涡轮机，需要粗糙度测量装置。为了将这么大的工件放置在测量装置台上，工件被提升装置、例如吊车或升降机悬吊起来。但是，与工人细心地将小工件放置在台上的情形相比，在从吊车悬吊极大工件时，无法期待精细的运动。

换言之，在从吊车悬吊极大工件时，当工件移动到台表面之上附近之后，工件必须缓慢降低以免发生碰撞，防止对工件和台的破坏。但是，虽然熟练的工人能够进行上述精细运动，普通工人很难完成。另外，一般的吊车或升降机不能设定成足够慢得速度，或者，运动可能是间歇地。出于这样的背景，当从吊车等悬吊时，很可能在工件和测量台之间发生碰撞。另外，在重量很大的工件被吊车悬吊的情况下，与工件的碰撞也很大，精度高但弹性低的测量装置的导引机构或轴承机构很有可能被损坏。

例如，在工件被加载到粗糙度测量装置的上述旋转台上时，工件的载荷被转子和定子之间的空气层吸收。在此例中，加载的工件极大而且非常中，当有冲击地加载时，空气轴承的空气层载荷能力超限，转子和定子的相反的表面可能彼此相接触。当这种接触发生时，空气轴承的相反的表面可能被损坏，降低旋转精度。此外，当由于旋转期间固体之间的接触导致相当大的损坏(卡死)时，旋转操作本身变得不可能。针对这些问题，已经提出了一些策略。

用于将工件传输至坐标测量装置的装置和方法公开在日本专利公开No.H02-062006中。在此文献中，可传输的平台安装在测量装置的平台之上。此外，可传输平台从测量器以下移动到测量装置一侧的位移床上，在此状态，工件从上方被吊车悬吊并且放置到可传输平台上。然后，可传输平台，与放置在可传输平台上的工件一起，被拉到平台上(例如，低于测量器)并且进行测量。采用这种配置，在悬吊期间受到测量装置一侧的位移床来自吊车的碰撞，可以避免测量装置平台上的作用。