[发明专利]泡生法晶体生长单晶炉脱锅方法、温控方法和控制方法有效
| 申请号： | 201510749833.2 | 申请日： | 2015-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN105350072A | 公开（公告）日： | 2016-02-24 |
| 发明（设计）人： | 王辉辉;穆童;陈亮 | 申请（专利权）人： | 南京晶升能源设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 李昊 |
| 地址： | 210000 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于泡生法晶体生长单晶炉的脱锅方法、温控方法、控制方法，其中泡生法晶体生长单晶炉脱锅方法，包括以下步骤：1)若测得的晶体重量大于设定重量上限值a，将晶体以0.1-5mm/h的速度向下运动，直至测得的晶体重量小于设定重量下限值b后，将晶体以0.1-5mm/h的速度持续向上运动；2)上述运动一直进行，直到冷却程序运行结束。本发明根据实际生产经验及蓝宝石晶体在各温度段机械强度的变化建立脱锅控制模型，该模型无需人工参与，降低了对人的要求，最大程度上保证了产品质量的均一性，保证了大规模生产的可能性；并有效缩短晶体脱锅时间，达到了节能降本，缩短晶体生长周期等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 泡生法 晶体生长 单晶炉脱锅 方法 温控 控制 | ||
【主权项】：
一种泡生法晶体生长单晶炉脱锅方法，其特征在于，包括以下步骤：1)若测得的晶体重量大于设定重量上限值a，将晶体以0.1‑5mm/h的速度向下运动，直至测得的晶体重量小于设定重量下限值b后，将晶体以0.1‑5mm/h的速度持续向上运动；2)上述运动一直进行，直到冷却程序运行结束。
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