[发明专利]基板的切断方法及切断装置在审
申请号: | 201510736773.0 | 申请日: | 2015-11-03 |
公开(公告)号: | CN105693074A | 公开(公告)日: | 2016-06-22 |
发明(设计)人: | 村上健二;武田真和;田村健太;木山直哉;秀岛护 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | C03B33/02 | 分类号: | C03B33/02;C03B33/033 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 沈锦华 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本申请的发明涉及一种基板的切断方法及切断装置。当切断基板时,使断裂刀的压入量减少。在由黏合层(12)贴合而成的两片脆性材料基板中的一个玻璃基板(11),预先形成划线(S),沿该划线(S),在另一个硅基板(13)形成固定宽度的槽(14)。然后,通过从槽(14)侧下压断裂刀(23),使断裂刀(23)接触槽(14)的角的部分,断裂刀的接触面积较少,能够减少压入量而进行断裂。 | ||
搜索关键词: | 切断 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种基板的切断方法,其沿切断预定线,在基板的一个面形成划线,在所述基板的另一个面形成槽,且以使所述基板的形成着划线的面对准的方式载置到弹性板上,对所述基板的形成着槽的面,沿所述划线压抵断裂刀而进行断裂,由此,沿划线进行切断。
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