[发明专利]基板的切断方法及切断装置

权利要求书

1.一种基板的切断方法，其沿切断预定线，在基板的一个面形成划线，在所述基板的 另一个面形成槽，且

以使所述基板的形成着划线的面对准的方式载置到弹性板上，对所述基板的形 成着槽的面，沿所述划线压抵断裂刀而进行断裂，由此，沿划线进行切断。

2.根据权利要求1所述的基板的切断方法，其中所述基板是经由黏合层将第一、第二 脆性材料基板积层而成的复合基板。

3.根据权利要求2所述的基板的切断方法，其中所述第一脆性材料基板是玻璃基板， 所述第二脆性材料基板是硅基板。

4.一种基板的切断装置，其包括：

划线形成机构，其沿切断预定线，在所述基板的一个面形成划线；

槽形成机构，其沿切断预定线，在所述基板的另一个面形成槽；及

断裂机构，其对所述基板的形成着槽的面，沿所述划线压抵断裂刀，而进行断 裂。