[发明专利]芯片封装结构用治具以及工作台有效
申请号: | 201510732094.6 | 申请日: | 2015-11-02 |
公开(公告)号: | CN105244303A | 公开(公告)日: | 2016-01-13 |
发明(设计)人: | 秦乐 | 申请(专利权)人: | 南通富士通微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/66 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 孟阿妮;郭栋梁 |
地址: | 226006 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种芯片封装结构用治具及工作台,治具本体具有通孔,供待检测芯片露出;在治具本体的一面,沿通孔边缘设置环形凸起;在治具本体设置环形凸起的一面,设置有多个第一定位结构。工作台,具有工作台面,工作台面设置有:芯片放置孔,用于放置待检测芯片;第二定位结构,与芯片封装结构用治具的第一定位结构相匹配。治具的环形凸起可用于抵押芯片,作业员无需一手按压翘曲圆片,一手调节镜头焦距;解决了人为按压力度无法控制问题,避免按压力量过大或过小,导致的压碎圆片和未将翘曲部分压平问题。配合使用方便定位,工作台上可以直接放置显微镜,使检测过程方便快捷,又不会损坏芯片。 | ||
搜索关键词: | 芯片 封装 结构 用治具 以及 工作台 | ||
【主权项】:
一种芯片封装结构用治具,其特征在于,包括治具本体,所述治具本体具有通孔,供待检测芯片露出;在所述治具本体的一面,沿所述通孔边缘设置环形凸起;在所述治具本体设置所述环形凸起的一面,还设置有多个第一定位结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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