[发明专利]芯片封装结构用治具以及工作台有效
申请号: | 201510732094.6 | 申请日: | 2015-11-02 |
公开(公告)号: | CN105244303A | 公开(公告)日: | 2016-01-13 |
发明(设计)人: | 秦乐 | 申请(专利权)人: | 南通富士通微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/66 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 孟阿妮;郭栋梁 |
地址: | 226006 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 封装 结构 用治具 以及 工作台 | ||
技术领域
本发明涉及芯片检测设备,尤其涉及芯片封装结构用治具以及工作台。
背景技术
圆片级封装产品在完成减薄工序后,会产生一定程度的翘曲(翘曲度一般在1mm-3mm)。而且经过背面刷胶、固化、植球、打印等工序后,圆片翘曲度会逐步增加。尤其在完成圆片背面打印后,使用同轴显微镜进行全检时,由于圆片存在翘曲,作业员无法准确进行对焦,需要用手按住圆片翘曲部分,才能完全检查到打印内容和打印位置是否正确。
由于同轴显微镜使用上下镜头,载台为圆形阶梯工作台(其结构为两个同心圆平面:内圆平面为玻璃面,其直径和8寸圆片一样,用于放置圆片;外圆平面为比内圆直径大6cm,且高于内圆平面,用于保护内圆平面内圆片,防止圆片移动。圆片通过作业员手动放置在载台上,上镜头为单光源直射光,下镜头为侧光源散射光,圆片一般放置为正面朝上,背面朝下,通过调节上下镜头的焦距,进行打印内容和位置的检查。若圆片存在翘曲,作业员需一手按住圆片,一手调节焦距进行作业,影响检查效率。而且由于圆片翘曲部分由作业员手动按压,存在按压力度过大导致破片风险。
发明内容
在下文中给出关于本发明的简要概述,以便提供关于本发明的某些方面的基本理解。应当理解,这个概述并不是关于本发明的穷举性概述。它并不是意图确定本发明的关键或重要部分,也不是意图限定本发明的范围。其目的仅仅是以简化的形式给出某些概念,以此作为稍后论述的更详细描述的前序。
本发明提供一种芯片封装结构用治具,包括治具本体,所述治具本体具有通孔,供待检测芯片露出;在所述治具本体的一面,沿所述通孔边缘设置环形凸起;在所述治具本体设置所述环形凸起的一面,还设置有多个第一定位结构。
另一方面,本发明还提供一种工作台,具有工作台面,所述工作台面设置有:芯片放置孔,用于放置待检测芯片;第二定位结构,与上述芯片封装结构用治具的第一定位结构相匹配。
本发明的至少一个有益效果为:治具的环形凸起可以用于抵押芯片,作业员无需一手按压翘曲圆片,另一手还要调节镜头焦距;同时也解决了由于人为按压力度无法控制这一问题,避免由于按压力量过大或过小,导致的压碎圆片和未将翘曲部分压平问题。与上述工作台配合使用,方便定位,并且该工作台上可以直接放置显微镜,使检测过程方便快捷,又不会损坏芯片。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明的芯片封装结构用治具的结构示意图;
图2为本发明的工作台的示意图;
图3为本发明治具和工作台配合的示意图。
附图标记:
1-治具本体;11-通孔;2-环形凸起;3-第一定位结构;4-工作台面;5-芯片放置孔;6-第二定位装置;7-突出台。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。在本发明的一个附图或一种实施方式中描述的元素和特征可以与一个或更多个其它附图或实施方式中示出的元素和特征相结合。应当注意,为了清楚的目的,附图和说明中省略了与本发明无关的、本领域普通技术人员已知的部件和处理的表示和描述。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
在本发明以下各实施例中,实施例的序号和/或先后顺序仅仅便于描述,不代表实施例的优劣。对各个实施例的描述都各有侧重,某个实施例中没有详述的部分,可以参见其他实施例的相关描述。
本发明公开一种芯片封装结构用治具,在治具本体1上具有供待检测芯片露出的通孔11,在该治具本体的一面,形成有环形凸起2,该环形凸起2是沿上述通孔11的边缘形成的,该环形凸起2的目的是在对芯片进行检查时,抵压住芯片,使翘曲的部分恢复,以方便检查。在形成该环形凸起的同一面,设置有第一定位机构3,用于给该治具定位。可选的,环形凸起为乙缩醛制成,采用该材料对芯片五磨损,可以直接与芯片表面接触。当然这仅作为一种可选的实施方式,其他材料也可以用于本发明。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南通富士通微电子股份有限公司,未经南通富士通微电子股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510732094.6/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造