[发明专利]一种热式压力传感器在审
| 申请号： | 201510685795.9 | 申请日： | 2015-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN105203250A | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 凌方舟;蒋乐跃 | 申请（专利权）人： | 美新半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G01L7/08 | 分类号： | G01L7/08;G01L1/00 |
| 代理公司： | 无锡互维知识产权代理有限公司 32236 | 代理人： | 庞聪雅 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种热式压力传感器，其包括：一基片，其形成有凹槽，所述凹槽的开口部设置有薄膜，所述薄膜将所述凹槽封闭为腔体，所述腔体中设置有热电偶和加热器所述热电偶分别位于所述加热器的内侧和外侧。与现有技术相比，本发明制作成本低、具有高集成度、体积小，节约空间，具有高灵敏度，测量压力的精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种热式压力传感器，其特征在于：其包括：一基片，其形成有凹槽，所述凹槽的开口部设置有薄膜，所述薄膜将所述凹槽封闭为腔体，所述腔体中设置有热电偶和加热器，所述热电偶位于所述加热器的内侧和外侧。
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