[发明专利]一种热式压力传感器

权利要求书

1.一种热式压力传感器，其特征在于：其包括：

一基片，其形成有凹槽，所述凹槽的开口部设置有薄膜，所述薄膜将所述凹槽封闭为腔体，所述腔体中设置有热电偶和加热器，所述热电偶位于所述加热器的内侧和外侧。

2.根据权利要求1所述的热式压力传感器，其特征在于：所述热电偶和加热器位于同一平面。

3.根据权利要求1所述的热式压力传感器，其特征在于：所述加热器内侧热电偶TP1和外侧热电偶TP2相对所述腔体中心呈对称分布。

4.根据权利要求1所述的热式压力传感器，其特征在于：所述热电偶和加热器位于腔体内悬空的桥梁结构上。

5.根据权利要求1所述的热式压力传感器，其特征在于：所述加热器产生热量，在腔体内建立温度场，在没有额外压力的情况下，加热器内侧热电偶TP1和外侧热电偶TP2与薄膜的间距均为d₀，加热器内侧热电偶TP1感受加热器的温度为T10，加热器外侧热电偶TP2感受加热器的温度为T20，内侧热电偶TP1和外侧热电偶TP2的温差为：T10-T20＝△T₀，

所述薄膜受到外部压力发生形变，内侧热电偶TP1和外侧热电偶TP2与薄膜的间距分为变为d1和d2，内侧热电偶TP1的热量同时向上和向下传递，则所述内侧热电偶TP1的温度变为T11，所述外侧热电偶TP2的热量同时向上、向下和向腔体侧壁传递，则所述外侧热电偶TP2的温度变为T21，则内侧热电偶TP1和外侧热电偶TP2的温度的温差变为：T11-T21＝△T₁，

由于薄膜受到外部压力变化而导致的腔体内温度的变化可得到：

δ＝ΔT_o-ΔT₁,

其中，不同的δ值对应不同的薄膜的形变量和外部压力P,

P∝δ。

6.根据权利要求1所述的热式压力传感器，其特征在于：所述基片的材料为硅、玻璃、石英、陶瓷中的一种或多种。

7.根据权利要求1所述的热式压力传感器，其特征在于：所述热电偶和加热器将封闭的腔体分为上腔体和下腔体。