[发明专利]一种蒸镀掩膜版以及蒸镀设备在审
| 申请号： | 201510658127.7 | 申请日： | 2015-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN105132861A | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 李晓虎;孙中元 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种蒸镀掩膜版以及蒸镀设备，涉及显示设备制造领域，能够改善蒸镀的薄膜层厚度不均一的问题。该蒸镀掩膜版包括间隔设置的遮挡区和蒸镀区，遮挡区设置有遮挡部，蒸镀掩膜版还包括至少覆盖蒸镀区的挡板；挡板包括多个蒸镀子区，每个蒸镀子区中设置有多个开孔；多个蒸镀子区中包括一个第一蒸镀子区，相对于其余蒸镀子区，第一蒸镀子区中单位面积内所有开孔的面积总和最小；距离第一蒸镀子区越近的蒸镀子区，该蒸镀子区中单位面积内所以开孔的面积总和越小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀掩膜版 以及 设备 | ||
【主权项】：
一种蒸镀掩膜版，包括间隔设置的遮挡区和蒸镀区，所述遮挡区设置有遮挡部，其特征在于，所述蒸镀掩膜版还包括至少覆盖所述蒸镀区的挡板；所述挡板包括多个蒸镀子区，每个所述蒸镀子区中设置有多个开孔；所述多个蒸镀子区中包括一个第一蒸镀子区，相对于其余蒸镀子区，所述第一蒸镀子区中单位面积内所有开孔的面积总和最小；距离所述第一蒸镀子区越近的蒸镀子区，该蒸镀子区中单位面积内所有开孔的面积总和越小。
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