[发明专利]一种蒸镀掩膜版以及蒸镀设备在审
| 申请号： | 201510658127.7 | 申请日： | 2015-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN105132861A | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 李晓虎;孙中元 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀掩膜版 以及 设备 | ||
1.一种蒸镀掩膜版，包括间隔设置的遮挡区和蒸镀区，所述遮挡区设置有遮挡部，其特征在于，所述蒸镀掩膜版还包括至少覆盖所述蒸镀区的挡板；
所述挡板包括多个蒸镀子区，每个所述蒸镀子区中设置有多个开孔；所述多个蒸镀子区中包括一个第一蒸镀子区，相对于其余蒸镀子区，所述第一蒸镀子区中单位面积内所有开孔的面积总和最小；
距离所述第一蒸镀子区越近的蒸镀子区，该蒸镀子区中单位面积内所有开孔的面积总和越小。
2.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜版，其特征在于，所述第一蒸镀子区为圆形且位于所述蒸镀区的中心位置；
其余蒸镀子区呈环形与所述第一蒸镀子区同心，并包裹所述第一蒸镀子区；
依次远离所述第一蒸镀子区的呈环形的蒸镀子区的面积依次增大。
3.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜版，其特征在于，所述挡板通过支架固定于所述遮挡部上，用于使得所述挡板与所述遮挡部之间具有间隙。
4.根据权利要求3所述的蒸镀掩膜版，其特征在于，所述支架的高度为15cm～30cm。
5.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜版，其特征在于，所述第一蒸镀子区中开孔的孔径为4.5mm～6.5mm。
6.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜版，其特征在于，除了所述第一蒸镀子区以外的蒸镀子区中开孔的孔径为9.5mm～10.5mm。
7.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜版，其特征在于，所述挡板的厚度为1.5mm～3.5mm。
8.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜版，其特征在于，构成所述挡板的材料为树脂材料或金属材料，所述树脂材料或所述金属材料的耐受温度大于等于200℃。
9.一种蒸镀设备，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的蒸镀掩膜版。
10.根据权利要求9所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括蒸镀源，挡板相对于遮挡部靠近所述蒸镀源。
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