[发明专利]溅射靶及层叠膜有效
| 申请号： | 201510655265.X | 申请日： | 2015-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN105525262B | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 森晓;小见山昌三;野中庄平 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C9/04 |
| 代理公司： | 11018 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 齐葵;周艳玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种溅射靶及层叠膜，本发明的溅射靶包含30质量％以上且50质量％以下的Zn、5质量％以上且15质量％以下的Ni、2质量％以上且10质量％以下的Mn，还包含共计0.001质量％以上且0.2质量％以下的选自Fe、Sn、Sb的一种或两种以上的元素，剩余部分由Cu和不可避免杂质构成。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 层叠 | ||
【主权项】：
1.一种溅射靶，其包含38质量％以上且50质量％以下的Zn、5质量％以上且15质量％以下的Ni、2质量％以上且10质量％以下的Mn，还包含共计0.001质量％以上且0.2质量％以下的选自Fe、Sn、Sb的一种或两种以上的元素，其中包含0.001质量％以上且0.2质量％以下的Fe，剩余部分由Cu和不可避免杂质构成，所述溅射靶的碳浓度为5质量ppm以上且50质量ppm以下。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三菱综合材料株式会社，未经三菱综合材料株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510655265.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
