[发明专利]溅射靶及层叠膜有效
| 申请号： | 201510655265.X | 申请日： | 2015-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN105525262B | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 森晓;小见山昌三;野中庄平 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C9/04 |
| 代理公司： | 11018 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 齐葵;周艳玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 层叠 | ||
【权利要求书】：
1.一种溅射靶，其包含38质量％以上且50质量％以下的Zn、5质量％以上且15质量％以下的Ni、2质量％以上且10质量％以下的Mn，还包含共计0.001质量％以上且0.2质量％以下的选自Fe、Sn、Sb的一种或两种以上的元素，其中包含0.001质量％以上且0.2质量％以下的Fe，剩余部分由Cu和不可避免杂质构成，所述溅射靶的碳浓度为5质量ppm以上且50质量ppm以下。
2.根据权利要求1所述的溅射靶，其中，
氧浓度为60质量ppm以下。
3.一种层叠膜，具备Cu膜和形成于该Cu膜的单面或两面的保护膜，其中，
所述保护膜使用权利要求1或2所述的溅射靶而成膜。
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