[发明专利]移动体装置、物体处理装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、及元件制造方法有效
| 申请号： | 201510651404.1 | 申请日： | 2011-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN105372947B | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F16C29/02;F16C29/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 任默闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 于基板载台装置(PST)中，搭载于Y步进定盘(50)上的基板支承构件(60)保持基板(P)。基板支承构件(60)于Y步进定盘(50)上以长行程移动于扫描方向。基板(P)与曝光区域(IA)对应的部位被定点载台(80)从下方以非接触方式吸附保持，其他部位被配置于Y步进定盘(50)上的多台空气悬浮装置(70)悬浮支承。基板(P)与曝光区域(IA)对应的部位，通过定点载台(80)被控制成基板(P)的面位置位于投影光学系统的焦深内。 | ||
| 搜索关键词： | 步进 定盘 基板 基板支承构件 曝光区域 载台 空气悬浮装置 投影光学系统 物体处理装置 非接触方式 平板显示器 移动体装置 基板载台 曝光装置 扫描方向 吸附保持 悬浮支承 元件制造 长行程 成基板 面位置 焦深 移动 配置 制造 | ||
【主权项】：
一种移动体装置，其特征在于，包含：第1移动体，可保持沿与水平面平行的既定二维平面配置的物体的端部，并且于至少所述二维平面内的第1方向以既定行程移动；第2移动体，包含在所述第1移动体于所述第1方向的可移动范围内从下方支承所述物体的物体支承构件，并且能与所述第1移动体一起移动于在所述二维平面内与所述第1方向正交的第2方向；第3移动体，于所述第1方向，与所述第2移动体并排配置，可在支承被保持于所述第1移动体的物体的状态下移动；以及驱动部，以使被支承于所述第2移动体与所述第3移动体中的一方的移动体的所述物体被支承于另一方的移动体的方式移动。
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