[发明专利]移动体装置、物体处理装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、及元件制造方法

权利要求书

1.一种移动体装置，其特征在于，包含：

第1移动体，可保持沿与水平面平行的既定二维平面配置的物体的端部，并且于至少所述二维平面内的第1方向以既定行程移动；

第2移动体，包含在所述第1移动体于所述第1方向的可移动范围内从下方支承所述物体的物体支承构件，并且能与所述第1移动体一起移动于在所述二维平面内与所述第1方向正交的第2方向；

第3移动体，于所述第1方向，与所述第2移动体并排配置，可在支承被保持于所述第1移动体的物体的状态下移动；以及

驱动部，以使被支承于所述第2移动体与所述第3移动体中的一方的移动体的所述物体被支承于另一方的移动体的方式移动。

2.根据权利要求1所述的移动体装置，其特征在于，

所述第2移动体，使气体在介于支承所述物体的第1支承面与所述物体之间而悬浮支承所述物体；

所述第3移动体，使气体在介于支承所述物体的第2支承面与所述物体之间而悬浮支承所述物体。

3.根据权利要求2所述的移动体装置，其特征在于，所述第2支承面与所述物体之间的距离短于所述第1支承面与所述物体之间的距离。

4.根据权利要求2或3所述的移动体装置，其特征在于，在所述第2方向的所述第2支承面的长度短于在所述第2方向的所述第1支承面的长度。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的移动体装置，其特征在于，所述第3移动体，在和所述第1方向与所述第2方向交叉的第3方向，调整被支承于所述第3移动体的所述物体的位置。

6.根据权利要求2至5中任一项所述的移动体装置，其特征在于，所述第3移动体，具有将气体供给至所述物体与所述第2支承面之间的供给口、以及将介于所述物体与所述第2支承面之间的气体吸引的吸引口。

7.根据权利要求6所述的移动体装置，其特征在于，所述第3移动体，使在所述第2支承面与所述物体之间的气体的气压或流量的至少一方变化，以控制所述第2支承面与所述物体的距离。

8.根据权利要求7所述的移动体装置，其特征在于，所述第3移动体，以使所述第2支承面与所述物体的距离在既定范围的方式悬浮支承所述物体。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的移动体装置，其特征在于，所述第2移动体，于所述第1方向上配置于所述第3移动体的两侧。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的移动体装置，其特征在于，所述第1移动体，于所述第2方向上限制所述物体相对所述第2移动体的移动。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的移动体装置，其特征在于，所述第1移动体，通过包含设于所述第2移动体的固定子与设于所述第1移动体的可动子的线性马达，在所述第2移动体上被驱动于所述第1方向。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的移动体装置，其特征在于，

所述第2移动体，配置于第1底座构件上；

所述第3移动体，配置于设置在与所述第1底座构件上不同的位置的第2底座构件上。

13.根据权利要求12所述的移动体装置，其特征在于，所述第2移动体，于所述第1底座构件上往所述第2方向移动。

14.根据权利要求12或13所述的移动体装置，其特征在于，进一步具备：

设于所述第2底座构件上用以抵消所述第3移动体的重量的重量抵消装置。