[发明专利]一种反射镜定位装置有效
| 申请号： | 201510647163.3 | 申请日： | 2015-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN106569393B | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 程海林;李淑蓉 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/198;G02B7/192 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种反射镜定位装置，包括反射镜座、压圈和固定件，反射镜座包括调整块和设于调整块上方的圆形凸台；调整块、圆形凸台以及压圈中部均设有通孔；其中，调整块内设有与反射镜相适配的环形台阶，调整块水平向设有若干贯穿调整块前后两侧面的狭缝，包括第一狭缝、第二狭缝和第三狭缝，第一狭缝和第二狭缝位于同一水平线上，两者之间设有间隙，并关于调整块中心对称，且第一狭缝和第二狭缝的一端分别与调整块的左、右侧面齐平，第三狭缝位于调整块内，并关于调整块中心对称；压圈底部的外径与圆形凸台的顶部内径相适配，反射镜限位于圆形凸台与压圈之间，固定件设于调整块两侧，并贯穿调整块。本发明提高了反射镜定位的可靠性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 调整块 狭缝 反射镜 圆形凸台 压圈 定位装置 反射镜座 中心对称 固定件 适配 同一水平线 环形台阶 水平向 右侧面 贯穿 齐平 通孔 | ||
【主权项】：
1.一种反射镜定位装置，其特征在于，包括反射镜座、压圈和固定件，所述反射镜座包括调整块和设于所述调整块上方的圆形凸台；所述调整块、圆形凸台以及压圈中部均设有通孔；其中，所述调整块内设有与所述反射镜相适配的环形台阶，所述调整块水平向设有若干贯穿所述调整块前后两侧面的狭缝，包括第一狭缝、第二狭缝和第三狭缝，所述第一狭缝和第二狭缝位于同一水平线上，两者之间设有间隙，并关于所述调整块中心对称，且所述第一狭缝和第二狭缝的一端分别与所述调整块的左、右侧面齐平，所述第三狭缝位于所述调整块内，并关于所述调整块中心对称；所述压圈底部的外径与所述圆形凸台的顶部内径相适配，反射镜限位于圆形凸台与压圈之间，所述固定件设于所述调整块两侧，并贯穿所述调整块。
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