[发明专利]一种反射镜定位装置有效
申请号: | 201510647163.3 | 申请日: | 2015-10-08 |
公开(公告)号: | CN106569393B | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 程海林;李淑蓉 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G02B7/198;G02B7/192 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 调整块 狭缝 反射镜 圆形凸台 压圈 定位装置 反射镜座 中心对称 固定件 适配 同一水平线 环形台阶 水平向 右侧面 贯穿 齐平 通孔 | ||
1.一种反射镜定位装置,其特征在于,包括反射镜座、压圈和固定件,所述反射镜座包括调整块和设于所述调整块上方的圆形凸台;所述调整块、圆形凸台以及压圈中部均设有通孔;其中,所述调整块内设有与所述反射镜相适配的环形台阶,所述调整块水平向设有若干贯穿所述调整块前后两侧面的狭缝,包括第一狭缝、第二狭缝和第三狭缝,所述第一狭缝和第二狭缝位于同一水平线上,两者之间设有间隙,并关于所述调整块中心对称,且所述第一狭缝和第二狭缝的一端分别与所述调整块的左、右侧面齐平,所述第三狭缝位于所述调整块内,并关于所述调整块中心对称;所述压圈底部的外径与所述圆形凸台的顶部内径相适配,反射镜限位于圆形凸台与压圈之间,所述固定件设于所述调整块两侧,并贯穿所述调整块。
2.根据权利要求1所述的反射镜定位装置,其特征在于,所述调整块与圆形凸台一体成型。
3.根据权利要求2所述的反射镜定位装置,其特征在于,所述第三狭缝设于所述第一、第二狭缝上方或下方,第三狭缝与第一、第二狭缝之间形成四条柔性支撑臂。
4.根据权利要求2所述的反射镜定位装置,其特征在于,所述压圈下部外侧和所述通孔相应位置设有一对螺纹结构。
5.根据权利要求2所述的反射镜定位装置,其特征在于,所述压圈下侧沿竖直方向依次设有第四狭缝和第五狭缝。
6.根据权利要求2所述的反射镜定位装置,其特征在于,所述固定件包括若干调整螺钉组件和若干锁紧螺钉组件。
7.据权利要求6所述的反射镜定位装置,其特征在于,所述调整螺钉组件和锁紧螺钉组件的数量均为3个,三个调整螺钉组件之间以及三个锁紧螺钉组件之间错位分布于所述圆形凸台的左右两侧。
8.根据权利要求6所述的反射镜定位装置,其特征在于,所述调整螺钉组件包括若干顶丝和与所述顶丝相适配的螺母,位置与所述圆形凸台的外周相对应。
9.根据权利要求6所述的反射镜定位装置,其特征在于,所述锁紧螺钉组件包括若干锁紧螺钉,位置与所述圆形凸台的外周相对应。
10.根据权利要求5所述的反射镜定位装置,其特征在于,所述第一、第二、第三、第四、第五狭缝均采用线切割加工而成。
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