[发明专利]一种反射镜定位装置

说明书

本发明公开了一种反射镜定位装置，包括反射镜座、压圈和固定件，反射镜座包括调整块和设于调整块上方的圆形凸台；调整块、圆形凸台以及压圈中部均设有通孔；其中，调整块内设有与反射镜相适配的环形台阶，调整块水平向设有若干贯穿调整块前后两侧面的狭缝，包括第一狭缝、第二狭缝和第三狭缝，第一狭缝和第二狭缝位于同一水平线上，两者之间设有间隙，并关于调整块中心对称，且第一狭缝和第二狭缝的一端分别与调整块的左、右侧面齐平，第三狭缝位于调整块内，并关于调整块中心对称；压圈底部的外径与圆形凸台的顶部内径相适配，反射镜限位于圆形凸台与压圈之间，固定件设于调整块两侧，并贯穿调整块。本发明提高了反射镜定位的可靠性和稳定性。

技术领域

本发明涉及光学器件领域，具体涉及一种反射镜定位装置。

背景技术

随着光刻技术的发展，光刻机的空间布局日益紧凑，因此要求其测量和检测系统占用空间尽可能地小，在非接触式的光电检测系统设计过程中，常常因空间结构受限而出现设计光路转折的情况，这就需要采用反射镜来实现光束的转折，以达到正确照射待测物和实现最终的测量目的。然而反射镜为光路系统中的敏感元件，在对其安装过程中，需要满足以下几点：一、实现三个自由度调整，由于反射镜的安装位置往往很难检测和定位，因此要求反射镜结构为三自由度可调组件，包括两个自由度的倾斜调整和反射面的法向移动，以补偿自身组件或其它组件的定位误差；二、实现反射镜无应力安装，以避免装配过程中由于受到应力而造成反射镜面型变化；三、对反射镜的固定必须稳定可靠。

为了达到上述目的，目前普遍采用的一种反射镜的定位和调整装置，如图1所示，采用两层板结构，首先将反射镜1’固定在一个镜座2’上，然后将镜座2’安装在一块调整板3’上，为了实现三个自由度的调整，采用顶丝4’加弹簧5’的结构，通过弹簧5’提供回复力，调整完成后通过螺钉6’锁紧，然而采用两层板结构和弹簧结构不仅增加了反射镜1’的安装空间，而且存在调整过程中反射镜1’在垂直于法线的平面内不易定位和夹紧的问题，此外，为了使反射镜1’的安装更加紧凑，在调整完成后，需要通过螺钉的锁紧，导致调整板发生变形，从而影响反射镜1’的面型和反射效果。

针对该不足，现有技术中提出了采用球形垫和座配合定位的方法，但是采用球形垫和座配合定位存在定位装置结构复杂，占用空间大的问题；此外，现有技术中还提出一种在镜座下面设置多个柔性块对镜面进行调整的方案，然而该方案仅适用于空间较大，镜片尺寸大的场合，存在很大的局限性；且上述两个方案采用胶接或者弹片压紧的方式，胶接方式存在失效的风险，降低了定位的可靠性和稳定性，而采用弹片压紧方式存在接触面小，应力集成的问题，因此均不能很好地满足实际要求。

发明内容

本发明为了克服以上不足，提供了一种不仅实现反射镜三个自由度可调以及无应力安装，而且有效提高定位可靠性和稳定性的反射镜定位装置。

为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种反射镜定位装置，包括反射镜座、压圈和固定件，所述反射镜座包括调整块和设于所述调整块上方的圆形凸台；所述调整块、圆形凸台以及压圈中部均设有通孔；其中，所述调整块内设有与所述反射镜相适配的环形台阶，所述调整块水平向设有若干贯穿所述调整块前后两侧面的狭缝，包括第一狭缝、第二狭缝和第三狭缝，所述第一狭缝和第二狭缝位于同一水平线上，两者之间设有间隙，并关于所述调整块中心对称，且所述第一狭缝和第二狭缝的一端分别与所述调整块左、右侧面齐平，所述第三狭缝位于所述调整块内，并关于所述调整块中心对称；所述压圈底部的外径与所述圆形凸台的顶部内径相适配，反射镜限位于圆形凸台与压圈之间，所述固定件设于所述调整块两侧，并贯穿所述调整块。

进一步的，所述调整块与圆形凸台一体成型。

进一步的，所述第三狭缝设于所述第一、第二狭缝上方或下方，第三狭缝与第一、第二狭缝之间形成四条柔性支撑臂。

进一步的，所述压圈下部外侧和所述通孔相应位置设有一对螺纹结构。

进一步的，所述压圈下侧沿竖直方向依次设有第四狭缝和第五狭缝。