[发明专利]一种超精密抛光用微米亚微米抛光液的筛选方法

摘要

本发明公开了一种超精密抛光用微米亚微米抛光液的筛选方法，特别适用于古典法抛光超光滑表面用氧化铈、氧化铁、氧化铝抛光液的制备，具体步骤为：将抛光粉与适量纯水放入洁净容器中混合；用磁力搅拌器搅拌溶液5～10分钟并使用频率40kHz超声波超声5～10分钟后静置2~4分钟；将容器内上半部分近1/2体积溶液倒出；在倒出的溶液中加入等量纯水，再用磁力搅拌器搅拌溶液5～10分钟、超声5～10分钟、静置2~4分钟后，将容器内上半部分近1/2体积的溶液倒出，得到微粒粒径分布均匀的抛光液。该方法筛选的抛光液粒径更小，粒度分布更均匀，有效防止微米级抛光粉微粒团聚，用于超光滑表面抛光不容易产生划痕，是超光滑表面抛光工艺中的关键技术。

主权项

一种超精密抛光用微米亚微米抛光液的筛选方法，其特征在于所述方法用于古典法抛光超光滑表面用氧化铈、氧化铁、氧化铝抛光液的制备，具体步骤如下：（1）称量一定重量的颗粒度分布为微米亚微米的抛光粉放入洁净容器中，加入适量的高纯去离子水，并混合得到抛光粉水溶液，去离子水与抛光粉的重量比大于10：1，高纯去离子水为18MΩ的去离子水；（2）用洁净的磁力搅拌器搅拌抛光粉水溶液5～10分钟，使抛光粉水溶液充分混合，搅拌棒长度大于容器底部半径长度，搅拌速度大于500转/分钟；（3）将步骤（2）得到的抛光粉水溶液用频率为40kHz的超声波超声5～10分钟，使抛光粉水溶液中团聚的抛光粉微粒在超声波作用下分散开来；（4）将步骤（3）得到的充分混合的抛光粉水溶液静置2~4分钟，由于颗粒度从几十微米到亚微米的抛光粉微粒在重力、浮力和液体的阻力的共同作用下沉降速度不同，经过2~4分钟静置后的抛光液呈现出较明显的分层现象，上半部分的粒径较小，下半部分粒径较大；（5）将洁净容器中上半部分近1/2体积的溶液倒入到新的洁净容器中，可得到粒度分布较均匀的抛光粉水溶液；（6）往步骤（5）所得倒出的溶液中加入与倒出量相当的去离子水；（7）用磁力搅拌器第二次搅拌抛光粉水溶液5～10分钟，使抛光粉水溶液充分混合；（8）再次用频率为40kHz超声波超声抛光液5～10分钟；（9）将第二次搅拌超声混合后的溶液静置2~4分钟；（10）将洁净容器内上半部分近1/2体积的溶液倒出并存放到新的洁净容器中；（11）得到微粒粒径分布均匀的抛光液样品。