[发明专利]一种超精密抛光用微米亚微米抛光液的筛选方法

权利要求书

1.一种超精密抛光用微米亚微米抛光液的筛选方法，其特征在于所述方法用于古典法抛光超光滑表面用氧化铈、氧化铁、氧化铝抛光液的制备，具体步骤如下：

（1）称量一定重量的颗粒度分布为微米亚微米的抛光粉放入洁净容器中，加入适量的高纯去离子水，并混合得到抛光粉水溶液，去离子水与抛光粉的重量比大于10：1，高纯去离子水为18MΩ的去离子水；

（2）用洁净的磁力搅拌器搅拌抛光粉水溶液5～10分钟，使抛光粉水溶液充分混合，搅拌棒长度大于容器底部半径长度，搅拌速度大于500转/分钟；

（3）将步骤（2）得到的抛光粉水溶液用频率为40kHz的超声波超声5～10分钟，使抛光粉水溶液中团聚的抛光粉微粒在超声波作用下分散开来；

（4）将步骤（3）得到的充分混合的抛光粉水溶液静置2~4分钟，由于颗粒度从几十微米到亚微米的抛光粉微粒在重力、浮力和液体的阻力的共同作用下沉降速度不同，经过2~4分钟静置后的抛光液呈现出较明显的分层现象，上半部分的粒径较小，下半部分粒径较大；

（5）将洁净容器中上半部分近1/2体积的溶液倒入到新的洁净容器中，可得到粒度分布较均匀的抛光粉水溶液；

（6）往步骤（5）所得倒出的溶液中加入与倒出量相当的去离子水；

（7）用磁力搅拌器第二次搅拌抛光粉水溶液5～10分钟，使抛光粉水溶液充分混合；

（8）再次用频率为40kHz超声波超声抛光液5～10分钟；

（9）将第二次搅拌超声混合后的溶液静置2~4分钟；

（10）将洁净容器内上半部分近1/2体积的溶液倒出并存放到新的洁净容器中；

（11）得到微粒粒径分布均匀的抛光液样品。

2.根据权利要求1所述的超精密抛光用颗粒度为微米亚微米的抛光液的筛选方法，其特征在于步骤（1）和步骤（5）所述的洁净容器为利用酒精和超纯水清洗过的玻璃材质锥形瓶或广口瓶。

3.根据权利要求1所述的超精密抛光用抛光液的筛选方法，其特征在于步骤（2）和步骤（7）中所述磁力搅拌器使用前采用丙酮和酒精清洗，以去除磁力搅拌器表面的有机物和颗粒等污染物。