[发明专利]离子源及离子化方法有效
申请号: | 201510599393.7 | 申请日: | 2015-09-18 |
公开(公告)号: | CN105355535B | 公开(公告)日: | 2018-05-22 |
发明(设计)人: | 赵鹏;闻路红 | 申请(专利权)人: | 宁波华仪宁创智能科技有限公司 |
主分类号: | H01J49/10 | 分类号: | H01J49/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310012 浙江省宁波市鄞州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种离子源及离子化方法,所述离子源包括:绝缘管,所述绝缘管两端开口;第一电极,所述第一电极设置在所述绝缘管的外部,所述第一电极具有第一接线端;第二电极,所述第二电极设置在所述绝缘管的内部,或设置在所述绝缘管的外部,且在所述绝缘管的延伸方向上,所述第二电极处于所述第一电极的右侧,所述第二电极具有第二接线端;接地电极,所述接地电极设置在所述绝缘管的开口端。本发明具有灵敏度高等优点。 | ||
搜索关键词: | 离子源 离子化 方法 | ||
【主权项】:
1.一种离子源,其特征在于:所述离子源包括:绝缘管,所述绝缘管两端开口;第一电极,所述第一电极设置在所述绝缘管的外部,所述第一电极具有第一接线端;第二电极,所述第二电极设置在所述绝缘管的外部,且在所述绝缘管的延伸方向上,第一电极、第二电极和接地电极依次设置,或者第二电极设置在所述绝缘管的内部;所述第二电极具有第二接线端;接地电极,所述接地电极设置在所述绝缘管的开口端。
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