[发明专利]离子源及离子化方法有效
申请号: | 201510599393.7 | 申请日: | 2015-09-18 |
公开(公告)号: | CN105355535B | 公开(公告)日: | 2018-05-22 |
发明(设计)人: | 赵鹏;闻路红 | 申请(专利权)人: | 宁波华仪宁创智能科技有限公司 |
主分类号: | H01J49/10 | 分类号: | H01J49/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310012 浙江省宁波市鄞州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 离子源 离子化 方法 | ||
1.一种离子源,其特征在于:所述离子源包括:
绝缘管,所述绝缘管两端开口;
第一电极,所述第一电极设置在所述绝缘管的外部,所述第一电极具有第一接线端;
第二电极,所述第二电极设置在所述绝缘管的外部,且在所述绝缘管的延伸方向上,第一电极、第二电极和接地电极依次设置,或者第二电极设置在所述绝缘管的内部;所述第二电极具有第二接线端;
接地电极,所述接地电极设置在所述绝缘管的开口端。
2.根据权利要求1所述的离子源,其特征在于:所述绝缘管具有内径收缩段;所述接地电极设置在所述内径收缩段侧的开口端。
3.根据权利要求1所述的离子源,其特征在于:所述第一电极和/或第二电极是环形电极。
4.根据权利要求1所述的离子源,其特征在于:所述接地电极是环形电极或针形电极或筛电极。
5.离子化方法,所述离子化方法包括以下步骤:
(A1)待测样品置于绝缘管的第一开口端;
(A2)第一电极和第二电极间施加交流电压;所述第一电极设置在所述绝缘管的外部,所述第二电极设置在所述绝缘管的外部,且在所述绝缘管的延伸方向上,第一电极、第二电极和接地电极依次设置,或者第二电极设置在所述绝缘管的内部;
从所述绝缘管的第二开口端向绝缘管内通入载气,产生等离子体束;
(A3)所述等离子体束在流出所述第一开口端侧的接地电极后形成离子气体,所述离子气体使所述待测样品离子化。
6.根据权利要求5所述的离子化方法,其特征在于:所述绝缘管具有内径收缩段;所述接地电极设置在所述内径收缩段侧的第一开口端。
7.根据权利要求5所述的离子化方法,其特征在于:所述载气的流速为0.02-10L/min。
8.根据权利要求5所述的离子化方法,其特征在于:所述交流电的功率为5-30W,电压为1-20kV,频率为10-1000Hz。
9.根据权利要求5所述的离子化方法,其特征在于:设置在所述绝缘管的内部的第二电极为板状电极。
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