[发明专利]一种无损、快速TSV结构侧壁形貌测量方法有效
| 申请号： | 201510584682.X | 申请日： | 2015-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN105043297B | 公开（公告）日： | 2017-12-01 |
| 发明（设计）人： | 何虎;李军辉;陈卓;朱文辉 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 长沙朕扬知识产权代理事务所(普通合伙)43213 | 代理人： | 周志中 |
| 地址： | 410000*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种无损、快速的TSV结构侧壁形貌测量方法，包括如下步骤利用高分辨率IR显微镜，调节聚焦深度，选取多个焦平面；选定其中一焦平面，并针对该焦平面所获得的图像，获得圆心的位置；计算边缘轮廓到圆心的距离，获得该焦平面图像的边缘到圆心的距离分布；改变焦平面位置，重复步骤三，计算出每一个焦平面图像的边缘到圆心的距离分布，获得在同一个旋转角度下，边缘在深度方向到圆心的距离分布；结合步骤五所得的计算结果，得到TSV结构侧壁的三维形貌分布；通过统计计算，获得TSV结构侧壁的形貌测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无损 快速 tsv 结构 侧壁 形貌 测量方法 | ||
【主权项】：
一种无损、快速的TSV结构侧壁形貌测量方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、利用高分辨率IR显微镜，调节聚焦深度，选取多个焦平面；步骤二、选定其中一个焦平面，并针对该焦平面所获得的图像，获得圆心的位置；步骤三、计算边缘轮廓到圆心的距离，获得该焦平面图像的边缘到圆心的距离分布；步骤四、改变焦平面位置，重复步骤三，计算出每一个焦平面图像的边缘到圆心的距离分布，获得在同一个旋转角度下，边缘在深度方向到圆心的距离分布；步骤五、结合步骤四所得的计算结果，得到TSV结构侧壁的三维形貌分布；步骤六、通过统计计算，获得TSV结构侧壁的形貌测量。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中南大学，未经中南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510584682.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
