[发明专利]一种无损、快速TSV结构侧壁形貌测量方法

权利要求书

1.一种无损、快速的TSV结构侧壁形貌测量方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一、利用高分辨率IR显微镜，调节聚焦深度，选取多个焦平面；

步骤二、选定其中一个焦平面，并针对该焦平面所获得的图像，获得圆心的位置；

步骤三、计算边缘轮廓到圆心的距离，获得该焦平面图像的边缘到圆心的距离分布；

步骤四、改变焦平面位置，重复步骤三，计算出每一个焦平面图像的边缘到圆心的距离分布，获得在同一个旋转角度下，边缘在深度方向到圆心的距离分布；

步骤五、结合步骤四所得的计算结果，得到TSV结构侧壁的三维形貌分布；

步骤六、通过统计计算，获得TSV结构侧壁的形貌测量。

2.根据权利要求1所述的TSV结构侧壁形貌测量方法，其特征在于，步骤二中获得圆心的位置是采用近似圆拟合方法。

3.根据权利要求1所述的TSV结构侧壁形貌测量方法，其特征在于，步骤三中边缘到圆心的距离分布采用坐标形式记录，横坐标为旋转角度，纵坐标为边缘到圆心的距离值，各焦平面图像中边缘到圆心的距离分布形成一曲线。

4.根据权利要求3所述的TSV结构侧壁形貌测量方法，其特征在于，步骤五中三维形貌分布采用在坐标中的图像来显示，横坐标为旋转角度，通过不同颜色或灰度来表示不同的形貌。