[发明专利]物理量检测装置、电子设备、移动体有效
| 申请号： | 201510580349.1 | 申请日： | 2015-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN105424018B | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 青木信也 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5628 | 分类号： | G01C19/5628 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 苏萌萌;范文萍 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种物理量检测装置、电子设备、移动体，该物理量检测装置能够降低因电流在振动装置的驱动电极中流通而产生的电噪声给半导体元件的检测电路带来的影响。物理量检测装置的特征在于，具备：半导体元件(10)；物理量检测振动片，在俯视观察半导体元件(10)时，所述物理量检测振动片的一部分与半导体元件(10)重叠，物理量检测振动片包括：具有驱动电极(51、52)的驱动部；以及检测部，在俯视观察半导体元件(10)时，驱动电极(51、52)的至少一部分区域不与半导体元件(10)重叠。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 检测 装置 电子设备 移动 | ||
【主权项】：
一种物理量检测装置，其特征在于，具备：半导体元件；物理量检测振动片，在俯视观察所述半导体元件时，所述物理量检测振动片的一部分与所述半导体元件重叠，所述物理量检测振动片包括：具有驱动电极的驱动部；以及检测部，在俯视观察所述半导体元件时，所述驱动电极的至少一部分区域不与所述半导体元件重叠。
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