[发明专利]物理量检测装置、电子设备、移动体

权利要求书

1.一种物理量检测装置，其特征在于，具备：

半导体元件；

物理量检测振动片，其包括基部、连结部、驱动部、以及检测部，其中，所述连结部从所述基部起沿着第一方向延伸出，所述驱动部从所述连结部起沿着与所述第一方向交叉的第二方向延伸出，并具有驱动电极，所述检测部从所述基部起沿着所述第二方向延伸出，

所述检测部包括：

第一检测用振动臂，其从所述基部起沿着所述第二方向延伸出；

第二检测用振动臂，其从所述基部起沿着与所述第二方向相反的方向延伸出，

所述半导体元件的沿着所述第二方向的尺寸，大于从所述第一检测用振动臂的和所述基部相反一侧的端部起到所述第二检测用振动臂的和所述基部相反一侧的端部为止的尺寸，

在俯视观察时，所述半导体元件与所述基部以及所述检测部重叠，且不与所述驱动电极重叠。

2.如权利要求1所述的物理量检测装置，其特征在于，

所述物理量检测振动片被配置在所述半导体元件的有源面侧。

3.如权利要求1所述的物理量检测装置，其特征在于，

所述物理量检测振动片包括从所述基部延伸出的支承部，

所述支承部被连接在所述半导体元件的固定位置处，

在俯视观察所述半导体元件时，所述检测部被配置在所述基部与所述固定位置之间。

4.如权利要求1至权利要求3中任一项所述的物理量检测装置，其特征在于，

所述连结部包括：

第一连结部，其从所述基部起沿着所述第一方向延伸出；

第二连结部，其从所述基部起沿着与所述第一方向相反的方向延伸出，

所述驱动部包括：

第一驱动部，其从所述第一连接部起延伸出；

第二驱动部，其从所述第二连接部起延伸出，

在俯视观察所述半导体元件时，所述半导体元件被配置在所述第一驱动部与所述第二驱动部之间。

5.如权利要求4所述的物理量检测装置，其特征在于，

所述第一驱动部包括：

第一驱动用振动臂，其从所述第一连结部起沿着所述第二方向延伸出；以及

第二驱动用振动臂，其从所述第一连结部起沿着与所述第二方向相反的方向延伸出；

所述第二驱动部包括：

第三驱动用振动臂，其从所述第二连结部起沿着所述第二方向延伸出；以及

第四驱动用振动臂，其从所述第二连结部起沿着与所述第二方向相反的方向延伸出。

6.一种电子设备，其特征在于，

具备权利要求1至权利要求5中任一项所述的物理量检测装置。

7.一种移动体，其特征在于，

具备权利要求1至权利要求5中任一项所述的物理量检测装置。