[发明专利]一种移除光刻胶的方法在审
| 申请号： | 201510521779.6 | 申请日： | 2015-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN105093864A | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 陈哲;张睿;王者馥;王绪敏;殷金龙;任鲁风 | 申请（专利权）人： | 北京中科紫鑫科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市大兴区经济技术*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种移除光刻胶的方法。包括以下步骤：使用湿法刻蚀去除光刻胶，酸溶液洗涤，使用碱溶液浸泡洗涤，向碱溶液中持续通入臭氧，使用高锰酸钾溶液浸泡洗涤，有机溶剂浸泡，去离子水冲洗。本发明移除光刻胶效果好，对纤维面板材料损伤小，洗涤液可以多次反复使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 方法 | ||
【主权项】：
一种移除光刻胶的方法，其特征在于，包括以下步骤：使用湿法刻蚀去除光刻胶；使用酸溶液洗涤涂有光纤面板的光刻胶；加热碱溶液，使用碱溶液浸泡洗涤；向碱溶液中持续通入臭氧；使用高锰酸钾溶液浸泡洗涤；使用有机溶剂浸泡；使用去离子水冲洗。
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