[发明专利]一种薄膜晶体管阵列基板、其制作方法及显示装置有效

专利信息
申请号: 201510518773.3 申请日: 2015-08-21
公开(公告)号: CN105070727B 公开(公告)日: 2019-01-15
发明(设计)人: 冯伟 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77;H01L21/768;G02F1/1343
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 黄志华
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种薄膜晶体管阵列基板、其制作方法及显示装置,包括:衬底基板,设置在衬底基板上的栅极,以及依次设置在栅极上的栅极绝缘层和有源层;还包括:设置在衬底基板上的像素电极、公共电极和透明电极层;其中,透明电极层和像素电极/公共电极同层同材质;透明电极层位于栅极绝缘层的下方;有源层在衬底基板上的正投影位于透明电极层的正投影所在区域内。由于薄膜晶体管中的有源层正下方设置有与像素电极或公共电极同层同材质的透明电极层,可以改善薄膜晶体管所在区域的电极层残沙,使有源层的表面平整,避免由残沙引起的画面不均的现象,实现方法简单,且对栅极电阻的影响较小,可以提升产品品质。
搜索关键词: 一种 薄膜晶体管 阵列 制作方法 显示装置
【主权项】:
1.一种薄膜晶体管阵列基板,包括:衬底基板,设置在所述衬底基板上的栅极,以及依次设置在所述栅极上的栅极绝缘层和有源层;其特征在于,还包括:设置在所述衬底基板上的像素电极、公共电极和透明电极层;其中,所述透明电极层和像素电极同层同材质;或,所述透明电极层和公共电极电极同层同材质;所述透明电极层位于所述栅极绝缘层的下方;所述有源层在所述衬底基板上的正投影位于所述透明电极层的正投影所在区域内;其中,所述衬底基板和所述栅极之间设置有缓冲层;所述透明电极层设置在所述衬底基板和所述缓冲层之间。
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