[发明专利]一种柔性电容式湿度传感器及其制备方法在审
申请号: | 201510512310.6 | 申请日: | 2015-08-19 |
公开(公告)号: | CN105067682A | 公开(公告)日: | 2015-11-18 |
发明(设计)人: | 聂萌;章丹;黄庆安 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | G01N27/22 | 分类号: | G01N27/22;B81C1/00 |
代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人: | 杨晓玲 |
地址: | 211189 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种柔性电容式湿度传感器,该湿度传感器包括柔性衬底、第一金属电极板、氧化石墨烯薄膜层和第二金属电极板,其中,第一金属电极板和第二金属电极板分别固定连接在柔性衬底的顶面;氧化石墨烯薄膜层填充在第一金属电极板和第二金属电极板之间的空隙中,且覆盖在第一金属电极板的顶面和第二金属电极板的顶面。该湿度传感器具有灵敏度高,响应速度快,湿滞回差小,结构简单,长期稳定性好等优点,且能够广泛使用于生物医学、可穿戴设备等领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 柔性 电容 湿度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种柔性电容式湿度传感器,其特征在于,该湿度传感器包括柔性衬底(1)、第一金属电极板(2)、氧化石墨烯薄膜层(3)和第二金属电极板(4),其中,第一金属电极板(2)和第二金属电极板(4)分别固定连接在柔性衬底(1)的顶面;氧化石墨烯薄膜层(3)填充在第一金属电极板(2)和第二金属电极板(4)之间的空隙中,且覆盖在第一金属电极板(2)的顶面和第二金属电极板(4)的顶面。
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