[发明专利]一种柔性电容式湿度传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性电容式湿度传感器，其特征在于，该湿度传感器包括柔性衬底（1）、第一金属电极板（2）、氧化石墨烯薄膜层（3）和第二金属电极板（4），其中，第一金属电极板（2）和第二金属电极板（4）分别固定连接在柔性衬底（1）的顶面；氧化石墨烯薄膜层（3）填充在第一金属电极板（2）和第二金属电极板（4）之间的空隙中，且覆盖在第一金属电极板（2）的顶面和第二金属电极板（4）的顶面。

2.按照权利要求1所述的柔性电容式湿度传感器，其特征在于，所述的第一金属电极板（2）和第二金属电极板（4）分别位于柔性衬底（1）顶面的两端。

3.按照权利要求1所述的柔性电容式湿度传感器，其特征在于，所述的氧化石墨烯薄膜层（3）覆盖在第一金属电极板（2）的部分顶面和第二金属电极板（4）的部分顶面。

4.按照权利要求1所述的柔性电容式湿度传感器，其特征在于，所述的柔性衬底（1）由LCP制成。

5.按照权利要求1所述的柔性电容式湿度传感器，其特征在于，所述的第一金属电极板（2）和第二金属电极板（4）通过腐蚀金属薄层的方法制成。

6.一种权利要求1所述的柔性电容式湿度传感器的制备方法，其特征在于，该制备方法包括以下步骤：

第一步：在单面覆有金属薄层（6）的柔性衬底（1）的两端分别涂上光刻胶（7）；

第二步：对未被光刻胶（7）覆盖的金属薄层（6）进行腐蚀，位于光刻胶（7）下方的金属薄层（6）分别构成第一金属电极板（2）和第二金属电极板（4）；

第三步：去除光刻胶（7）；

第四步：在第一金属电极板（2）的顶面和第二金属电极板（4）的顶面分别贴上胶布（5）；

第五步：在柔性衬底（1）、第一金属电极板（2）、第二金属电极板（4）和胶布（5）的表面旋涂氧化石墨烯，构成氧化石墨烯层（8）；

第六步：撕去胶布（5）及位于胶布（5）上方的氧化石墨烯层（8），剩下的氧化石墨烯层（8）构成氧化石墨烯薄膜层（3），从而制成湿度传感器。

7.按照权利要求6所述的柔性电容式湿度传感器的制备方法，其特征在于，所述的第一步中，柔性衬底（1）由LCP制成。

8.按照权利要求6所述的柔性电容式湿度传感器的制备方法，其特征在于，所述的第四步中，胶布（5）分别覆盖第一金属电极板（2）的部分顶面和第二金属电极板（4）的部分顶面。