[发明专利]物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体

摘要

本发明提供一种能够减少静电电容偏差的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有：第一结构体(11)，其具有具备了可动电极指(333)的可动部(33)；第二结构体(12)，其具备与可动电极指(333)对置的方式而配置的第一固定电极指(381)；第三结构体(13)，其具备与可动电极指对置(333)的方式而配置的第二固定电极指(391)，第一静电电容形成部(71)，其在第一结构体(11)和第二结构体(12)之间形成静电电容。

主权项

1.一种物理量传感器，其特征在于，具有：第一结构体，其具有具备了可动电极指的可动部；第二结构体，其具备以与所述可动电极指对置的方式而被配置的第一固定电极指；第三结构体，其具备以与所述可动电极指对置的方式而被配置且与所述第一固定电极指相邻的第二固定电极指；静电电容形成部，其具有在所述第一结构体和所述第二结构体之间形成静电电容的第一静电电容形成部、在所述第一结构体和所述第三结构体之间形成静电电容的第二静电电容形成部中的至少一方，所述第一结构体具有所述可动部和对所述可动部进行支承的支承部，所述支承部具有延伸部，所述延伸部从所述支承部起延伸，并且所述延伸部的顶端部与所述第一固定电极指对置，通过使所述延伸部与所述第一固定电极指对置从而构成所述第一静电电容形成部。