[发明专利]物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体

说明书

本发明提供一种能够减少静电电容偏差的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有：第一结构体(11)，其具有具备了可动电极指(333)的可动部(33)；第二结构体(12)，其具备与可动电极指(333)对置的方式而配置的第一固定电极指(381)；第三结构体(13)，其具备与可动电极指对置(333)的方式而配置的第二固定电极指(391)，第一静电电容形成部(71)，其在第一结构体(11)和第二结构体(12)之间形成静电电容。

技术领域

本发明涉及一种物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。

背景技术

例如，专利文献1中所述的加速度传感器(物理量传感器)具有：可动部，所述可动部具备了可动电极部；第一固定电极部、第二固定电极部，所述第一固定电极部、第二固定电极部以与可动电极部对置的方式被配置，并且，所述加速度传感器能够根据由于可动部的位移而发生变化的、可动电极部以及第一、第二固定电极部之间的静电电容而对所受到的加速度进行检测。在这种结构的加速度传感器中，为了更高精度地对加速度进行检测，从而以如下方式进行设计，即，在未施加加速度的状态下，使可动电极部与第一固定电极部之间的静电电容、同可动电极部与第二固定电极部之间的静电电容相等。但是，由于在专利文献1所述的角速度传感器中，与可动电极部连接的配线以及端子、和与第一、第二固定电极部连接的配线以及端子交互存在，因此，在连接于可动电极部的端子与连接于第一固定电极部的端子之间观察时的静电电容、同在连接于可动电极部的端子与连接于第二固定电极部的端子之间观察时的静电电容存在偏差。根据该偏差的大小而存在无法通过IC来对该偏差完全进行调节(超出了IC的调节范围)从而降低加速度传感器的成品率等的问题。

专利文献1：日本特开2013－127436号公报

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能够减少静电电容的偏差的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。

本发明是为了解决上述课题中的至少一部分而完成的发明，并能够作为以下的应用例而实现。

应用例1

本应用例的物理量传感器的特征在于，具有：第一结构体，其具有具备了可动电极指的可动部；第二结构体，其具备以与所述可动电极指对置的方式而被配置的第一固定电极指；第三结构体，其具备以与所述可动电极指对置的方式而被配置的第二固定电极指；静电电容形成部，其具有在所述第一结构体与所述第二结构体之间形成静电电容的第一静电电容形成部、在所述第一结构体与所述第三结构体之间形成静电电容的第二静电电容形成部中的至少一方。

以此方式，通过设置第一静电电容形成部或第二静电电容形成部，从而能够使第一结构体与第二结构体之间的静电电容、和第一结构体与第三结构体之间的静电电容的差(偏差)减小(优选为零)。

应用例2

在本应用例的物理量传感器中，优选为，所述静电电容形成部同时具有所述第一静电电容形成部以及所述第二静电电容形成部，所述第一静电电容形成部中的静电电容与所述第二静电电容形成部中的静电电容不同。

由此，能够有效地使第一结构体与第二结构体之间的静电电容、和第一结构体与第三结构体之间的静电电容的差减小。

应用例3

在本应用例的物理量传感器中，优选为，所述第一结构体具有所述可动部和对所述可动部进行支承的支承部，所述支承部具有延伸部，所述延伸部从所述支承部起延伸，并且所述延伸部的顶端部与所述第一固定电极指对置，通过使所述延伸部与所述第一固定电极指对置，从而构成所述第一静电电容形成部。由此，使第一静电电容形成部的结构简单化。

应用例4